حامل SiC Coated برای ICP Plasma Etching System Semicorex یک راه حل قابل اعتماد و مقرون به صرفه برای فرآیندهای جابجایی ویفر در دمای بالا مانند epitaxy و MOCVD است. حامل های ما دارای یک پوشش کریستالی SiC هستند که مقاومت بالایی در برابر حرارت، حتی یکنواختی حرارتی و مقاومت شیمیایی بادوام را ارائه می دهد.
ادامه مطلبارسال استعلام