صفحه حامل Semicorex SiC Graphite RTP برای MOCVD مقاومت حرارتی و یکنواختی حرارتی عالی را ارائه می دهد و آن را به راه حلی عالی برای کاربردهای پردازش ویفر نیمه هادی تبدیل می کند. این محصول با یک گرافیت با پوشش SiC با کیفیت بالا، طوری طراحی شده است که در برابر سختترین محیط رسوبگذاری برای رشد همپایی مقاومت کند. رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع حرارت عالی عملکرد قابل اعتماد را برای RTA، RTP یا تمیز کردن شیمیایی خشن تضمین می کند.
ادامه مطلبارسال استعلام