پایه شیشه ای کوارتز

پایه شیشه ای کوارتز Semicorex به عنوان یک ستون استوار در چشم انداز پیچیده تولید نیمه هادی ایستاده است. پایه شیشه ای کوارتز که از کوارتز با خلوص بالا ساخته شده است به عنوان یک سکوی پایدار برای رقص ظریف ویفرهای سیلیکونی در مراحل مختلف پردازش عمل می کند. طراحی آن تجسم دقت و قابلیت اطمینان، ویژگی های ضروری در حوزه سخت ساخت نیمه هادی است.

پایه شیشه ای کوارتز پایداری حرارتی بی نظیری را ارائه می دهد و از توزیع یکنواخت گرما در طی مراحل حساس پردازش حرارتی اطمینان می دهد. مقاومت استثنایی آن در برابر دماهای بالا و محیط های شیمیایی خشن از یکپارچگی ویفرهای نیمه هادی محافظت می کند و از آنها در برابر اثرات مضری که می تواند عملکرد آنها را به خطر بیندازد محافظت می کند.

پایه شیشه‌ای کوارتز دارای سطحی بکر و عاری از عیوب است که می‌تواند یکپارچگی لایه‌های نیمه‌هادی را که رسوب‌شده یا حکاکی شده‌اند، به خطر بیندازد. سطح صاف و غیر واکنشی آن آلودگی را به حداقل می رساند، خلوص مواد نیمه هادی را حفظ می کند و بازده فرآیند تولید را افزایش می دهد.

تطبیق پذیری یکی دیگر از ویژگی های این جزء ضروری است. پایه شیشه ای کوارتز چه در رشد اپیتاکسیال، اچ پلاسما یا کاشت یون استفاده شود، به طور یکپارچه با کاربردهای مختلف سازگار می شود و به کارایی و انعطاف پذیری امکانات ساخت نیمه هادی کمک می کند.