پشتیبانی از گیرنده کوارتز

در محیط سخت تولید نیمه هادی، تفاوت بین یک دسته با بازده بالا و یک شکست پرهزینه اغلب در دقت میکروسکوپی موقعیت یابی ویفر نهفته است. شفت پشتیبان گیرنده کوارتز Semicorex (که معمولاً به عنوان شفت کوارتز همپایی نامیده می شود) به عنوان ستون فقرات واقعی رسوب بخار شیمیایی (CVD) و فرآیندهای رشد اپیتاکسی عمل می کند. این مولفه که برای مقاومت در برابر شیب شدید حرارتی و قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی طراحی شده است، برای سیال، حرکت عمودی و چرخش گیرنده‌ها یا حامل‌های ویفر حیاتی است.

نقش کوارتز در فرآیندهای اپیتاکسیال

فرآیند اپیتاکسیال مستلزم دماهای اغلب بیش از 1000 درجه سانتیگراد و محیطی عاری از کوچکترین آلودگی فلزی است. مواد استاندارد در این شرایط از کار می‌افتند یا از گاز خارج می‌شوند. پشتیبانی کوارتز Susceptor ما از سیلیس ذوب شده مصنوعی با خلوص فوق العاده بالا ساخته شده است که تضمین می کند:

پایداری حرارتی استثنایی:مقاومت بالا در برابر شوک حرارتی، از ترک خوردگی در چرخه های گرمایش و سرمایش سریع جلوگیری می کند.

بی اثری شیمیایی:غیر واکنشی با گازهای پیش ساز و مواد پاک کننده، حفظ یکپارچگی ویفر نیمه هادی.

حداقل آلودگی:با سطوح ناخالصی که بر حسب قسمت در میلیون (ppm) اندازه گیری می شود، از "دوپینگ" جو با عناصر ناخواسته جلوگیری می کند.

توابع اصلی و مزایای فنی

عملکرد اصلی ساپورت گیرنده کوارتز تسهیل حرکت عمودی و چرخشی گیره است - صفحه ای که ویفر نیمه هادی را نگه می دارد.

1. موقعیت یابی عمودی دقیق

در یک راکتور معمولی، فاصله بین سطح ویفر و ورودی گاز یکنواختی فیلم را تعیین می کند. شفت‌های کوارتز ما با تلورانس‌های زیر میلی‌متری ماشین‌کاری شده‌اند. این به سیستم کنترل حرکت تجهیزات اجازه می‌دهد تا گیرنده را با تکرارپذیری مطلق بالا یا پایین بیاورد و اطمینان حاصل کند که هر ویفر در یک دوره تولید، دینامیک جریان گاز یکسان را تجربه می‌کند.

2. حرکت و انتقال بدون درز

کارایی در تولید با حجم بالا (HVM) به سرعت جابجایی ویفر بستگی دارد. طراحی نوع ورق و دنده‌های ساختاری تقویت‌شده محور نگهدارنده این اطمینان را می‌دهد که می‌تواند وزن گرافیت سنگین یا سنگین را تحمل کند.گیرنده های پوشش داده شده با کاربید سیلیکون (SiC).بدون تعظیم و لرزش این پایداری برای انتقال سریع نمونه‌ها بین اتاق‌های پردازش یا ایستگاه‌های کاری مختلف ضروری است و زمان خرابی را به حداقل می‌رساند.

3. عایق حرارتی بهینه

در حالی که سوسپتور باید داغ باشد، اجزای مکانیکی زیر اغلب باید خنک‌تر بمانند.کوارتزبه عنوان یک عایق حرارتی طبیعی عمل می کند. ساختار توخالی و لوله مانند شفت مسیر هدایت گرما را کاهش می دهد و از مهر و موم موتور و خلاء واقع در پایه راکتور محافظت می کند.