لوله های پخش کوارتز نیمه هادی

قایق های کوارتزمعمولاً در شرایط عملیاتی خوردگی شیمیایی با دمای بالا و سخت استفاده می شود. در طول عملیات، ویفرهای نیمه هادی در قایق کوارتز قرار می گیرند و در لوله انتشار کوارتز قرار می گیرند. هنگامی که لوله انتشار به دمای مورد نیاز (چند صد تا چند هزار درجه سانتیگراد) می رسد، گازهای فرآیند (به عنوان مثال، O2، N2، H2، Ar) و گازهای ناخالص (مانند POCl3، BBr3) به کوارتز وارد می شوند تا انتشار گاز را از طریق لوله انجام دهند. ویفرهای نیمه هادی علاوه بر این، برای بهبود یکنواختی و دقت انتشار، برخی از فرآیندهای انتشار باید در یک محیط کم فشار انجام شوند. 

در فرآیندهای پیشرفته ساخت نیمه هادی، هرگونه اشتباه یا نقص جزئی در این فرآیندها می تواند منجر به شکست فرآیندهای بعدی شود. بنابراین، به عنوان بخش مهمی از تولید نیمه هادی، کیفیت لوله های انتشار کوارتز اهمیت قابل توجهی دارد و به طور مستقیم بر عملکرد و عملکرد دستگاه های نیمه هادی تأثیر می گذارد.

مشخصات Semicorex کوارتز نیمه هادی درجه

لوله های پخش کوارتز نیمه هادی Semicorex به دقت از کیفیت بالا ساخته شده اند.کوارتز نیمه هادیمواد در زیر پارامترهای خاص آن آمده است:

پارامترها را می توان با توجه به نیاز مشتری سفارشی کرد.

عملکرد لوله های پخش کوارتز نیمه هادی Semicorex

با تکیه بر فناوری پردازش با تجربه و انتخاب مواد قابل اعتماد، نیمه هادی Semicorexلوله های انتشار کوارتزنشان دادن عملکرد برتر تحت شرایط عملیاتی چالش برانگیز:

1. عملکرد مقاومت در برابر درجه حرارت بالا

لوله های پخش کوارتز نیمه هادی Semicorex مقاومت قابل توجهی در دمای بالا ارائه می دهند که آنها را قادر می سازد تا در محیط های با دمای بالا تا 1200 درجه سانتیگراد بدون تغییر شکل یا آسیب به طور پایدار عمل کنند.

2. عملکرد پایداری حرارتی

لوله های پخش کوارتز نیمه هادی Semicorex با دارا بودن ضریب استثنایی انبساط حرارتی، قادر به مقاومت در برابر تنش حرارتی در هنگام گرم شدن یا سرد شدن سریع هستند بدون اینکه به راحتی ترک بخورند یا تغییر شکل دهند.

3. عملکرد مقاومت شیمیایی

لوله های پخش کوارتز نیمه هادی نیمه هادی Semicorex بی اثری شیمیایی عالی را در محیط های خورنده با دمای بالا و خشن ارائه می دهند. این عملکرد تا حد زیادی از تاثیر آلاینده های تولید شده از واکنش آنها با گازهای فرآیندی بر کیفیت ویفر جلوگیری می کند.