بخاری گرافیتی نیمه هادی

نیمه هادیبخاری گرافیتییک دستگاه گرمایش پیشرفته ساخته شده از مواد گرافیت ایزواستاتیک با خلوص بالا است. هدایت الکتریکی و هدایت حرارتی عالی آن کنترل دقیق دما و توزیع یکنواخت گرما را برای رشد و پردازش مواد نیمه هادی تضمین می کند. هنگامی که جریان الکتریکی از بخاری عبور می کند، بر مقاومت الکتریکی داخلی گرافیت غلبه می کند، انرژی الکتریکی را به گرما تبدیل می کند، دمای گرافیت را بالا می برد و به گرمایش می رسد. کنترل دقیق دما معمولاً با تنظیم شدت جریان الکتریکی و مقاومت بخاری قابل دستیابی است.

Semicorex با دقت انتخاب شده با خلوص بالاگرافیت ایزواستاتیکرسانایی حرارتی عالی را نشان می دهد و به آن امکان می دهد گرما را به سرعت و به طور یکنواخت به هر گوشه ای از ناحیه گرمایش منتقل کند و به طور موثر از گرمای بیش از حد موضعی جلوگیری کند.

نکته قابل توجه، حتی زمانی که در معرض شرایط دمای بسیار بالا، مانند فرسایش قوس الکتریکی در دمای فوق العاده بالا، گرافیت ایزواستاتیک با خلوص بالا، ویژگی های فیزیکی و شیمیایی پایداری را حفظ می کند. گرمای شدید معمولاً باعث ذوب، تغییر شکل یا اکسید شدن مواد می شود، اما این نوع گرافیت قادر به مقاومت در برابر این تغییرات است. این باعث می شود که برای فرآیندهای با دمای بالا در تولید نیمه هادی، از جمله کشیدن سیلیکون تک کریستال و رشد کریستال کاربید سیلیکون، مناسب باشد.

بخاری گرافیت نیمه هادی با بهره وری انرژی مشخص می شود. بدون نیاز به گرمایش، به سرعت به دمای تنظیم شده می رسد و در مقایسه با بخاری های سنتی صرفه جویی قابل توجهی در مصرف انرژی می کند. راندمان تبدیل حرارتی بالای آن به طور موثر مصرف انرژی را کاهش می دهد و صرفه جویی در انرژی و کاهش مصرف را درک می کند. در حین کار، هیچ آلاینده یا گازهای خروجی تولید نمی کند و الزامات زیست محیطی را برآورده می کند.

علاوه بر این، بخاری گرافیتی نیمه هادی عمر طولانی دارد. گرافیت ایزواستاتیک با خلوص بالا استحکام مکانیکی برتر، مقاومت در برابر خوردگی قوی و مقاومت در برابر شوک حرارتی عالی را به آنها می بخشد. آنها نسبت به عواملی مانند دماهای بالا و خوردگی شیمیایی کمتر حساس هستند و عمر مفید طولانی‌تری را ممکن می‌سازد.