Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor for LPE به لطف سطح فوق العاده صاف و پوشش SiC با کیفیت بالا، انتخاب مناسبی برای کاربردهای رشد تک کریستال است. نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون و مقاومت در برابر خوردگی آن را به گزینه ای ایده آل برای استفاده در محیط های با دمای بالا و خورنده تبدیل می کند.
به دنبال یک گیرنده گرافیت با توزیع حرارت استثنایی و هدایت حرارتی هستید؟ برای عملکرد برتر در فرآیندهای LPE و سایر کاربردهای تولید نیمه هادی، به Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor برای LPE نگاه نکنید.
در Semicorex، ما بر ارائه محصولات با کیفیت بالا و مقرون به صرفه به مشتریان خود تمرکز می کنیم. گیرنده بشکه ای با پوشش SiC برای LPE دارای مزیت قیمتی است و به بسیاری از بازارهای اروپایی و آمریکایی صادر می شود. هدف ما این است که با ارائه محصولات با کیفیت ثابت و خدمات استثنایی به مشتریان، شریک طولانی مدت شما باشیم.
پارامترهای گیرنده بشکه پوشش داده شده SiC برای LPE
مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC |
||
ویژگی های SiC-CVD |
||
ساختار کریستالی |
فاز FCC β |
|
تراکم |
g/cm³ |
3.21 |
سختی |
سختی ویکرز |
2500 |
اندازه دانه |
¼ دقیقه |
2 تا 10 |
خلوص شیمیایی |
% |
99.99995 |
ظرفیت گرمایی |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
دمای تصعید |
℃ |
2700 |
قدرت فلکسورال |
MPa (RT 4 نقطه ای) |
415 |
مدول یانگ |
Gpa (خم 4pt، 1300) |
430 |
انبساط حرارتی (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
رسانایی گرمایی |
(W/mK) |
300 |
ویژگی های SiC Coated Barrel Susceptor برای LPE
- هم بستر گرافیت و هم لایه کاربید سیلیکون چگالی خوبی دارند و می توانند نقش محافظتی خوبی در دمای بالا و محیط های کاری خورنده داشته باشند.
- سوسپتور با روکش کاربید سیلیکون که برای رشد تک کریستال استفاده می شود، صافی سطحی بسیار بالایی دارد.
- کاهش اختلاف ضریب انبساط حرارتی بین بستر گرافیت و لایه کاربید سیلیکون، به طور موثری استحکام پیوند را برای جلوگیری از ترک خوردگی و لایه لایه شدن بهبود می بخشد.
- هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند.
- نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی.