کامپوننت ICP با پوشش SiC

کامپوننت ICP با پوشش SiC

کامپوننت ICP با پوشش SiC Semicorex به طور خاص برای فرآیندهای کنترل ویفر در دمای بالا مانند اپیتاکسی و MOCVD طراحی شده است. با پوشش کریستال SiC ریز، حامل های ما مقاومت بالاتری در برابر حرارت، حتی یکنواختی حرارتی، و مقاومت شیمیایی بادوام را ارائه می دهند.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

کامپوننت ICP با پوشش SiC Semicorex بهترین انتخاب برای فرآیندهای جابجایی ویفر است که به مقاومت شیمیایی و دمای بالا نیاز دارند. حامل های ما پروفیل های حرارتی، الگوهای جریان گاز آرام را ارائه می دهند و به لطف کریستال SiC خوب ما از آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری می کنند. با روکش کریستال SiC ریز، حامل های ما مقاومت بالایی در برابر حرارت، حتی یکنواختی حرارتی و مقاومت شیمیایی بادوام را ارائه می دهند.
در Semicorex، ما بر ارائه محصولات با کیفیت بالا و مقرون به صرفه به مشتریان خود تمرکز می کنیم. جزء ICP با پوشش SiC ما دارای مزیت قیمتی است و به بسیاری از بازارهای اروپایی و آمریکایی صادر می شود. هدف ما این است که با ارائه محصولات با کیفیت ثابت و خدمات استثنایی به مشتریان، شریک طولانی مدت شما باشیم.
برای کسب اطلاعات بیشتر در مورد مولفه ICP با پوشش SiC، همین امروز با ما تماس بگیرید.


پارامترهای مولفه ICP با پوشش SiC

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC

ویژگی های SiC-CVD

ساختار کریستالی

فاز FCC β

تراکم

g/cm³

3.21

سختی

سختی ویکرز

2500

اندازه دانه

¼ دقیقه

2 تا 10

خلوص شیمیایی

%

99.99995

ظرفیت گرمایی

J·kg-1 ·K-1

640

دمای تصعید

2700

قدرت فلکسورال

MPa (RT 4 نقطه ای)

415

مدول یانگ

Gpa (خم 4pt، 1300)

430

انبساط حرارتی (C.T.E)

10-6K-1

4.5

رسانایی گرمایی

(W/mK)

300


ویژگی های SiC-Coated ICP Component

- از لایه برداری خودداری کنید و از پوشش روی تمام سطوح اطمینان حاصل کنید

مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا: پایدار در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد

خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا.

مقاومت در برابر خوردگی: سختی بالا، سطح متراکم و ذرات ریز.

مقاومت در برابر خوردگی: معرف های اسیدی، قلیایی، نمکی و آلی.

- دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام

- تضمین یکنواختی پروفیل حرارتی

- از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری کنید





تگ های داغ: کامپوننت ICP با پوشش SiC، چین، تولیدکنندگان، تامین کنندگان، کارخانه، سفارشی، حجیم، پیشرفته، بادوام

دسته بندی مرتبط

ارسال استعلام

لطفاً درخواست خود را در فرم زیر ارائه دهید. ما ظرف 24 ساعت به شما پاسخ خواهیم داد.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept