Semicorex SiC Dummy Wafer یک ابزار تخصصی در تولید نیمه هادی است که عمدتاً برای اهداف آزمایشی و آزمایشی طراحی شده است.**
ویژگی های کلیدی SiC Dummy Wafer
آزمایش و آزمایش همه کاره
ویفرهای ساختگی SiC در مراحل مختلف تولید نیمه هادی ضروری هستند و ابزاری مطمئن و مطمئن برای آزمایش و آزمایش ارائه می دهند. آنها در ابتدای فرآیند تولید حیاتی هستند و اطمینان حاصل می کنند که تمام پارامترها قبل از استفاده از ویفرهای با ارزش تولید بهینه هستند.
حفاظت در فرآیندهای انتشار
در فرآیندهای انتشار، ویفرهای ساختگی SiC با محافظت از ویفرهای سیلیکونی استاندارد نقش مهمی ایفا می کنند. این عملکرد محافظ از آسیب و آلودگی جلوگیری می کند و در نتیجه یکپارچگی و کیفیت ویفرهای اولیه را حفظ می کند.
دقت در اندازه گیری
این ویفرها به دقت برای اندازه گیری ضخامت فیلم، مقاومت فشار و شاخص بازتاب استفاده می شوند. آنها همچنین در تشخیص حضور پین بال و ارزیابی اندازه الگو در لیتوگرافی بسیار مفید هستند و به طور قابل توجهی به دقت فرآیند و کاهش نقص کمک می کنند.
مزایای SiC Dummy Wafer
مقاومت در برابر گاز در دمای بالا
ویفرهای ساختگی SiC مقاومت قابل توجهی در برابر حملات گاز با دمای بالا از خود نشان می دهند که آنها را برای شرایط شدید مناسب می کند. این انعطاف پذیری عملکرد پایدار را حتی در سخت ترین محیط ها تضمین می کند.
پایداری شیمیایی
پایداری شیمیایی SiC Dummy Wafers به آنها اجازه می دهد تا در برابر مواد خورنده مختلف بدون تخریب مقاومت کنند. این ویژگی برای حفظ یکپارچگی ویفر در طول قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی ضروری است.
سطح بدون ذرات
ویفرهای SiC Dummy با داشتن سطحی که به راحتی تمیز می شود، مشکلات ذرات را به حداقل می رساند، که برای حفظ محیطی عاری از آلودگی حیاتی است. این ویژگی از نتایج با کیفیت بالا پشتیبانی می کند و خطر نقص را کاهش می دهد.
یکپارچگی ساختاری بلند مدت
ویفرهای ساختگی SiC برای مقاومت در برابر خم شدن و تغییر شکل در طول زمان طراحی شده اند. دوام آنها تضمین می کند که در طول چرخه های آزمایشی متعدد قابل اعتماد باقی می مانند و نیاز به تعویض مکرر را کاهش می دهد.
ویژگی های قابل تنظیم
Semicorex سریال سازی تعریف شده توسط کاربر را بر روی هر SiC Dummy Wafer ارائه می دهد که امکان سفارشی سازی اندازه و ضخامت را فراهم می کند. حکاکی لیزری سفارشی خطرات آلودگی متقابل را از بین می برد و درجه بالایی از خلوص و قابلیت اطمینان را تضمین می کند.
برنامه های کاربردی در سراسر صنایع
ساخت نیمه هادی
ویفرهای ساختگی SiC در ساخت نیمه هادی ها، به ویژه در مراحل اولیه تولید، ضروری هستند. آنها به عنوان یک مانع محافظ عمل می کنند و از ویفرهای سیلیکونی در برابر آسیب احتمالی محافظت می کنند و از دقت فرآیند اطمینان می دهند.
تضمین کیفیت و تست
در تضمین کیفیت، ویفرهای ساختگی SiC برای بررسی های تحویل و ارزیابی فرم های فرآیند بسیار مهم هستند. آنها اندازه گیری دقیق پارامترهایی مانند ضخامت فیلم، مقاومت فشار و شاخص بازتاب را امکان پذیر می کنند و به اعتبار سنجی فرآیندهای تولید کمک می کنند.
لیتوگرافی و تأیید الگو
در لیتوگرافی، این ویفرها به عنوان معیاری برای اندازهگیری اندازه الگو و بررسی نقص عمل میکنند. دقت و قابلیت اطمینان آنها به دستیابی به دقت هندسی مورد نظر کمک می کند که برای عملکرد دستگاه نیمه هادی بسیار مهم است.
تحقیق و توسعه
در محیطهای تحقیق و توسعه، انعطافپذیری و دوام SiC Dummy Wafers از آزمایشهای گسترده پشتیبانی میکند. ظرفیت آنها برای تحمل شرایط آزمایش سخت، آنها را برای توسعه فناوری های نیمه هادی جدید ارزشمند می کند.