حلقه های ورودی sic

حلقه های ورودی Semicorex SIC مؤلفه های حیاتی در سیستم های پردازش نیمه هادی ، به ویژه در راکتورهای اپی توپیال و تجهیزات رسوب است که در آن یکنواختی گاز و پایداری فرآیند بر پردازش ویفر ، همراه با کیفیت و عملکرد دستگاه تأثیر می گذارد. حلقه های ورودی SIC برای کنترل ورودی گازهای فرآیند طراحی شده اند ، و در عین حال جریان گاز یکنواخت را بر روی سطوح ویفر با توجه به دما و واکنش پذیری شیمیایی در حین پردازش ، به ویژه در دمای بالا فراهم می کند ، شرایط ورودی را تثبیت می کند. حلقه های ورودی SIC از کاربید سیلیکون بسیار با خلوص بسیار بالا (SIC) ساخته شده اند ، و به آنها امکان می دهد در برابر شوک حرارتی ، مقاومت در برابر خوردگی و تولید ذرات کمی مقاومت کنند - یک مؤلفه اساسی در ساخت نیمه هادی پیشرفته.

مزیت اصلی کاربید سیلیکون به عنوان یک ماده ، توانایی تجربه شرایط حرارتی شدید است. در مورد رشد اپیتاکسیال و سایر فرآیندهای نیمه هادی ، راکتورها سطح دمای بالایی را حفظ می کنند که می تواند از مواد سنتی فراتر رود. حلقه های ورودی SIC پس از چنین دمای پایدار قادر به تحمل حرارتی هستند ، بدون تغییر شکل و به ویژه بدون صفحه. آنها می توانند ابعاد را پایدار نگه دارند تا از اختلال در یکنواختی جریان گازها جلوگیری کنند. علاوه بر این ، مقاومت دما حلقه های ورودی SIC شرایط یکنواخت فرآیندها را در چرخه های عملیاتی طولانی فراهم می کند. این عامل برای تولید با حجم بالا و همچنین تولید دستگاه بسیار ارزشمند است.

مقاومت شیمیایی ، علاوه بر ثبات حرارتی ، یکی دیگر از کیفیت های مهم دیگر استباکرهحلقه های ورودی فرآیندهای نیمه هادی می توانند شامل گازهای واکنشی مانند سیلین ، هیدروژن و آمونیاک باشند یا شامل استفاده از برخی از شیمیایی های مبتنی بر کلر باشند. موادی که هنگام قرار گرفتن در معرض گازهای واکنشی در معرض خطر قرار می گیرند یا تخریب می شوند ، می توانند باعث آلودگی ویفرها در مواجهه اول شوند و در نهایت منجر به از بین رفتن کارایی یک فرآیند می شوند. SIC مقاومت بالایی در برابر حمله شیمیایی ، حفظ سطح بی اثر که باعث پاکیزگی رادیکال می شود ، از آلودگی از نوع ذرات جلوگیری می کند و عمر سرویس حلقه ورودی را گسترش می دهد ، ضمن حفظ یکپارچگی ویفر ، منجر به بازده بالاتر و کاهش نقص می شود.

دقت ماشینکاری یکی دیگر از ملاحظات حیاتی در عملکرد یک حلقه ورودی است. هندسه حلقه در کنترل ویژگی های جریان گازهای فرآیند بسیار مهم است. ناسازگاری های جزئی منجر به توزیع ناهموار گازها می شود و منجر به رشد فیلم غیر یکنواخت یا ویژگی های دوپینگ در ویفرها می شود.حلقه های ورودی sicبا استفاده از تکنیک های دقیق ، دستیابی به تحمل های نزدیک ، صاف بودن خوب و پایان سطح عالی تولید می شوند. جنبه دقیق حلقه های ورودی ، تحویل یکنواخت و یکنواخت گازها به محفظه فرآیند را تضمین می کند ، که مستقیماً بر کنترل فرایند ویفرها تأثیر می گذارد.

سفارشی سازی یکی دیگر از مزیت های مهم حلقه های ورودی SIC است. با توجه به طرح های مختلف تجهیزات و فرآیندهای نیمه هادی ، هر برنامه به یک مؤلفه متفاوت نیاز دارد تا به درستی در آن قرار بگیرد. حلقه های ورودی SIC را می توان در اندازه ها ، شکل ها و انواع مختلفی تولید کرد و از این طریق نیازهای مدل ها و برنامه های مختلف راکتور را برآورده کرد. عملکرد را می توان با استفاده از درمان های مختلف سطح و پرداخت برای عملکرد بهینه بهبود بخشید و به مشتریان یک راه حل منحصر به فرد متناسب با محیط تولید خود می دهد.

علاوه بر مزایای فنی ، حلقه های ورودی SIC دارای مزایای عملیاتی و اقتصادی هستند. دوام در برابر تنش های حرارتی و شیمیایی به معنای تعویض کمتر و هزینه های نگهداری کمتر است که به خرابی کمتر و مواد مصرفی ترجمه می شود. هنگام تلاش برای به حداکثر رساندن توان حداکثر و افزایش کارآیی در یک FAB نیمه هادی ، حلقه های ورودی SIC ضمن حفظ کیفیت فرآیند ، یک راه حل مقرون به صرفه طولانی مدت ارائه می دهند.

نیمه نیمهحلقه های ورودی sicخواص پیشرفته مواد کاربید سیلیکون را با دقت مهندسی برای ارائه عملکرد پیشرفته برای برنامه های تولید نیمه هادی ترکیب کنید. دارای مقاومت در برابر حرارتی بالا ، ثبات شیمیایی برجسته و ماشینکاری دقیق ، حلقه های ورودی SIC برای ارائه قابلیت اطمینان در کنترل جریان گاز برای کاربردهای فناوری پیشرفته با دوام طولانی مدت طراحی شده اند. حلقه های ورودی بدون آلودگی و قابل تنظیم ، یک مؤلفه اصلی برای FAB هایی است که می خواهند پایداری فرآیند ، راندمان بالا و عملکرد دستگاه ها را حفظ کنند. تولید کنندگان نیمه هادی با انتخاب حلقه های ورودی SIC از Hemicorex ، در حال کار با یک راه حل اثبات شده برای پاسخگویی به خواسته های سخت ترین فرآیندهای تولید نیمه هادی هستند.