لوله های فرآیند SiC

لوله های فرآیند Semicorex SiC اجزای ساختاری مهم در اکسیداسیون، انتشار، RTA/RTP در فرآیند تولید نیمه هادی هستند. این به طور کلی یک لوله با قطر بزرگ به عنوان یک فضای کوره راکتور است، تمام فرآیندهای شیمیایی در داخل انجام می شود. بنابراین استحکام، مقاومت در برابر شوک حرارتی هر دو نکات بسیار اساسی برای محصول هستند.

لوله های فرآیند SiC توسطسیلیکون کاربید متخلخل، می تواند SiSiC، SSiC یا RSiC باشد و پوشش سی سی سی سی سی روی سطح CVD که یک لایه با خلوص فوق العاده بالا تشکیل می دهد. می تواند از آلودگی توسط ذرات، خاکستر و غیره جلوگیری کند. و این ماده دارای مقاومت شوک حرارتی بسیار بالایی است، بنابراین لوله های فرآیند SiC می توانند در مقاومت در برابر دمای بالا پایدار بمانند و از رسوب ناخالصی ها در دماهای بالا و در نتیجه آلودگی محیط جلوگیری کنند.

این لوله‌های فرآیند SiC برای استفاده در اتمسفرهای دارای گاز واکنش‌پذیر (اکسیژن)، گاز محافظ (نیتروژن) و حداقل مقادیر گاز کلرید هیدروژن طراحی شده‌اند و مقاومت شیمیایی، پایداری حرارتی و خلوص مواد را تا 1250 درجه سانتی‌گراد ارائه می‌دهند. لوله‌های فرآیند Semicorex SiC، تولید پیشرفته‌ترین فناوری چاپ سه‌بعدی را با پوشش رسوب‌دهی بخار شیمیایی (CVD) ترکیب می‌کنند تا عملکرد و طول عمر بالاتری را در شدیدترین شرایط حرارتی و شیمیایی ارائه دهند.

لوله‌های فرآیند Semicorex SiC از طریق یک فرآیند قالب‌گیری یکپارچه پرینت سه بعدی به جای لوله‌های پرس معمولی یا مونتاژ شده تولید می‌شوند. این فرآیند تولید، ساختاری پیوسته و ثابت از سرامیک را بدون اتصالات و مناطق ضعیف، ایجاد می‌کند و درجه بالایی از پیچیدگی و وفاداری ابعادی ایجاد می‌کند، که می‌تواند غلظت استرس را کاهش دهد و در عین حال استحکام مکانیکی را افزایش دهد. علاوه بر این، ساختار یکپارچه یک مهر و موم ضد گاز طبیعی را فراهم می کند و آلودگی و نشت را در طی فرآیندهای با دمای بالا کاهش می دهد.

اینSiCبدنه یک ماده با ناخالصی بسیار کم (<300ppm) است که خلوص و پایداری عالی مواد را برای اتمسفرهای واکنش پذیر فراهم می کند. علاوه بر این، لوله با یک لایه کاربید سیلیکون CVD (< 5 ppm) پوشانده شده است تا مقاومت در برابر خوردگی و محافظت از سطح را بهبود بخشد.

Semicorex خدمات سفارشی را ارائه می دهد، ما می توانیم مطابق نقشه های مشتریان تولید کنیم تا نیازهای مشخصات مورد نیاز را برآورده کنیم. بنابراین لوله های فرآیند Semicorex SiC می توانند نه تنها برای کوره های افقی، بلکه برای کوره های عمودی نیز مناسب باشند.