Semicorex Silicon Annealing Boat که به دقت برای جابجایی و پردازش ویفرهای سیلیکونی طراحی شده است، نقش مهمی در دستیابی به دستگاه های نیمه هادی با کارایی بالا دارد. ویژگیهای طراحی منحصر به فرد و خواص مواد آن را برای مراحل ساخت حیاتی مانند انتشار و اکسیداسیون، تضمین پردازش یکنواخت، به حداکثر رساندن بازده، و کمک به کیفیت و قابلیت اطمینان کلی دستگاههای نیمهرسانا ضروری میسازد.**
خلوص فوق العاده بالا برای محیط های پردازش بکر: قایق سیلیکونی آنیلینگ Semicorex، ساخته شده از سیلیکون با خلوص فوق العاده بالا (تا خلوص 13N)، خطر آلودگی را در طول پردازش در دمای بالا به حداقل می رساند. این خلوص استثنایی تضمین می کند که ویفرها در معرض یک محیط بکر قرار می گیرند و از ورود ناخالصی های ناخواسته ای که می توانند عملکرد دستگاه را کاهش داده و عملکرد را کاهش دهند، جلوگیری می کند.
کاهش تماس ویفر برای حداقل آسیب:سطح صاف و صیقلی قایق آنیلینگ سیلیکونی نقاط تماس با ویفرها را به حداقل می رساند و خطر خراشیدگی، بریدگی یا سایر آسیب های مکانیکی در حین حمل و نقل و پردازش را کاهش می دهد. این رسیدگی دقیق یکپارچگی ویفرها را حفظ می کند، عملکرد کلی فرآیند را بهبود می بخشد و به دستگاه های با کیفیت بالاتر کمک می کند.
طرح های قابل تنظیم برای عملکرد بهینه: طرحهای قایق آنیلینگ سیلیکونی را میتوان برای برآوردن الزامات فرآیندی خاص، از جمله تغییرات در شکل قایق، طول، زاویه و تعداد دندانهای نگهدارنده ویفر، طراحی کرد. این سفارشیسازی، بهینهسازی دینامیک جریان گاز، یکنواختی دما، و فاصله ویفر در کوره را امکانپذیر میسازد و از نتایج پردازش ثابت و تکرارپذیر برای طیف گستردهای از هندسههای دستگاه و پارامترهای فرآیند اطمینان میدهد.
حد رسوب پلی سیلیکون بالا برای عملیات طولانی مدت:قایق آنیلینگ سیلیکونی تحمل بالایی را برای رسوب پلی سیلیکون ارائه میکند و اجازه میدهد تا قبل از نیاز به تمیز کردن یا تعویض، عملیات طولانیتر انجام شود. این طول عمر طولانی مدت زمان خرابی تجهیزات مرتبط با تعمیر و نگهداری را کاهش می دهد و به افزایش ظرفیت تولید و کاهش هزینه های کلی تولید کمک می کند.