Semicorex شریک شما برای بهبود در پردازش نیمه هادی است. پوششهای کاربید سیلیکون ما متراکم، در دمای بالا و مقاوم در برابر مواد شیمیایی هستند که اغلب در کل چرخه تولید نیمههادیها از جمله پردازش ویفر و ویفر نیمهرسانا و ساخت نیمهرسانا استفاده میشوند.
اجزای سرامیکی SiC با خلوص بالا برای فرآیندهای نیمه هادی بسیار مهم هستند. پیشنهاد ما از قطعات مصرفی برای تجهیزات پردازش ویفر، مانند قایق ویفر کاربید سیلیکون، پاروهای کنسول، لوله و غیره برای Epitaxy یا MOCVD است.
مزایای فرآیندهای نیمه هادی
مراحل رسوب لایه نازک مانند اپیتاکسی یا MOCVD، یا پردازش ویفر مانند اچ کردن یا کاشت یونی باید دماهای بالا و تمیز کردن شیمیایی سخت را تحمل کنند. Semicorex ساختار کاربید سیلیکون (SiC) با خلوص بالا را تامین می کند، مقاومت حرارتی عالی و مقاومت شیمیایی بادوام، حتی یکنواختی حرارتی برای ضخامت و مقاومت لایه epi ثابت را ارائه می دهد.
درب اتاق →
درپوشهای محفظهای که در رشد کریستال و پردازش ویفر استفاده میشوند باید دماهای بالا و تمیز کردن شیمیایی سخت را تحمل کنند.
دست و پا زدن کنسول →
Cantilever Paddle یک جزء حیاتی است که در فرآیندهای تولید نیمه هادی، به ویژه در کوره های انتشار یا LPCVD در طی فرآیندهایی مانند انتشار و RTP استفاده می شود.
لوله فرآیند →
Process Tube یک جزء حیاتی است که به طور خاص در کاربردهای مختلف پردازش نیمه هادی مانند RTP و Diffusion طراحی شده است.
قایق های ویفر →
ویفر قایق در پردازش نیمه هادی استفاده می شود، به طور دقیق طراحی شده است تا اطمینان حاصل شود که ویفرهای ظریف در طول مراحل بحرانی تولید ایمن نگه داشته می شوند.
حلقه های ورودی →
حلقه ورودی گاز با پوشش SiC توسط تجهیزات MOCVD رشد مرکب دارای مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالا است که در محیط شدید پایداری زیادی دارد.
حلقه فوکوس →
حلقه فوکوس با پوشش سیلیکون کاربید تامین می کند Semicorex برای تمیز کردن RTA، RTP یا مواد شیمیایی خشن واقعا پایدار است.
ویفر چاک →
ویفر وکیوم سرامیکی فوق تخت Semicorex از روکش SiC با خلوص بالا در فرآیند جابجایی ویفر استفاده می کند.
Semicorex همچنین دارای محصولات سرامیکی در آلومینا (Al2O3)، نیترید سیلیکون (Si3N4)، نیترید آلومینیوم (AIN)، زیرکونیا (ZrO2)، سرامیک کامپوزیت و غیره است.
غشای مسطح کاربید سیلیکون نیمه نیمه یک محلول فیلتراسیون سرامیکی با کارایی بالا است که به دلیل مقاومت شیمیایی استثنایی ، پایداری حرارتی و راندمان تصفیه برتر مشهور است. انتخاب نیم قطبی به معنای انتخاب فناوری پیشرو در صنعت است که توسط فرآیندهای تولید برش و تعهد به ارائه راه حل های قابل اعتماد و مقرون به صرفه که سخت ترین چالش های تصفیه را برآورده می کند ، حمایت می شود.*
ادامه مطلبارسال استعلامغشای کامپوزیت Carbide Selicon Semicorex یک محلول فیلتراسیون پیشرفته است که با ترکیب خواص برتر کاربید سیلیکون ، آلومینا و اکسید کلسیم برای ارائه تصفیه با کارایی بالا در طیف گسترده ای از صنایع. Semicorex انتخاب قابل اعتماد برای این فناوری برش است و راه حل های بی نظیر ، قابلیت اطمینان و راه حل های متناسب را ارائه می دهد که از کارآیی بهینه و عملکرد طولانی مدت برای نیازهای تصفیه شما اطمینان می دهد.*
ادامه مطلبارسال استعلامغشای کاربید سیلیکون نیمه نیمه راه حل های پیشرفته تصفیه است که مقاومت شیمیایی ، حرارتی و مکانیکی برتر را ارائه می دهد ، ایده آل برای خواستار کاربردهای صنعتی است. Hemicorex را برای غشاهای با کیفیت بالا و با دوام ما انتخاب کنید که عملکرد ، کارایی و قابلیت اطمینان طولانی مدت را ارائه می دهند و نتایج بهینه را در هر فرآیند تصفیه تضمین می کنند.*
ادامه مطلبارسال استعلامغشای SIC Semicorex یک راه حل تصفیه سرامیکی با کارایی بالا است که از کاربید سیلیکون با خلوص بالا ساخته شده است ، که برای به چالش کشیدن برنامه های تصفیه صنعتی طراحی شده است. Semicorex را برای غشاهای SIC قابل اعتماد ، بادوام و کارآمد انتخاب کنید که عملکرد استثنایی و ارزش بلند مدت را در حتی در محیط های خواستار ارائه می دهند.*
ادامه مطلبارسال استعلامچاک های خلاء Semicorex راه حل مناسبی برای کار با ویفر در صنایع نیمه هادی و دقیق هستند. با انواع مختلفی از گزینه های پایه ، سفارشی سازی صفحه سرامیکی و کنترل دقیق صاف ، چاک های خلاء ما از ثبات قابل اعتماد ویفر و نتایج عالی فرآیند اطمینان می دهند. این چاک ها برای پاسخگویی به خواسته های دقیق تولید نیمه هادی مدرن ، عملکرد بی نظیری را ارائه می دهند ، و اطمینان می دهند که فرآیندهای شما کارآمد و مقرون به صرفه باقی می مانند.*
ادامه مطلبارسال استعلامVacuum Chuck متخلخل Semicorex برای کنترل دقیق و قابل اعتماد ویفر طراحی شده است و گزینه های مواد قابل تنظیم را برای رفع طیف گسترده ای از نیازهای پردازش نیمه هادی ارائه می دهد. Semicorex را برای تعهد خود به راه حل های با کیفیت بالا و با دوام که عملکرد و کارآیی بهینه را در هر برنامه ارائه می دهد ، انتخاب کنید.*
ادامه مطلبارسال استعلام