بشکه گرافیتی با پوشش سیلیکون کاربید Semicorex گزینه مناسبی برای کاربردهای تولید نیمه هادی است که به مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالا نیاز دارند. رسانایی حرارتی استثنایی و خواص توزیع گرما آن را برای استفاده در فرآیندهای LPE و دیگر محیطهای با دمای بالا ایدهآل میکند.
وقتی صحبت از تولید نیمه هادی می شود، بشکه گرافیتی با پوشش کاربید سیلیکون Semicorex بهترین انتخاب برای عملکرد و قابلیت اطمینان استثنایی است. پوشش SiC با کیفیت بالا و چگالی و رسانایی حرارتی عالی آن، توزیع و حفاظت حرارت عالی را حتی در چالشبرانگیزترین محیطهای با دمای بالا و خورنده ارائه میکند.
بشکه گرافیتی با پوشش کاربید سیلیکون ما یک پروفیل حرارتی یکنواخت را تضمین می کند و بهترین الگوی جریان گاز آرام را تضمین می کند. از انتشار هر گونه آلودگی یا ناخالصی در ویفر جلوگیری می کند و آن را برای استفاده در محیط های تمیز اتاق ایده آل می کند. Semicorex یک تولید کننده و تامین کننده گیره گرافیت با پوشش SiC در چین در مقیاس بزرگ است و محصولات ما از مزیت قیمت خوبی برخوردار هستند. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک طولانی مدت شما در صنعت نیمه هادی باشیم.
پارامترهای بشکه گرافیت پوشش داده شده با کاربید سیلیکون
|
مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC |
||
|
ویژگی های SiC-CVD |
||
|
ساختار کریستالی |
فاز β FCC |
|
|
تراکم |
g/cm³ |
3.21 |
|
سختی |
سختی ویکرز |
2500 |
|
اندازه دانه |
میکرومتر |
2 تا 10 |
|
خلوص شیمیایی |
% |
99.99995 |
|
ظرفیت حرارتی |
J kg-1 K-1 |
640 |
|
دمای تصعید |
℃ |
2700 |
|
قدرت فلکسورال |
MPa (RT 4 نقطه ای) |
415 |
|
مدول یانگ |
Gpa (4pt خم، 1300℃) |
430 |
|
انبساط حرارتی (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
هدایت حرارتی |
(W/mK) |
300 |
ویژگی های بشکه گرافیت با پوشش سیلیکون کاربید
- هم بستر گرافیت و هم لایه کاربید سیلیکون چگالی خوبی دارند و می توانند نقش محافظتی خوبی در دمای بالا و محیط های کاری خورنده داشته باشند.
- سوسپتور با روکش کاربید سیلیکون که برای رشد تک کریستال استفاده می شود، صافی سطحی بسیار بالایی دارد.
- کاهش تفاوت در ضریب انبساط حرارتی بین بستر گرافیت و لایه کاربید سیلیکون، به طور موثر استحکام پیوند را برای جلوگیری از ترک خوردگی و لایه لایه شدن بهبود می بخشد.
- هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند.
- نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی.




