گیرنده اپیتاکسی کاربید سیلیکون

Semicorex خدمات فرآیند پوشش SiC را به روش CVD بر روی سطح گرافیت، سرامیک و مواد دیگر مانند سیلیکون کاربید Epitaxy Susceptor ارائه می دهد، به طوری که گازهای ویژه حاوی کربن و سیلیکون در دمای بالا واکنش نشان می دهند تا مولکول های SiC با خلوص بالا، مولکول های رسوب شده بر روی سطح مواد پوشش داده شده، تشکیل لایه محافظ SIC. SIC تشکیل شده محکم به پایه گرافیت متصل می شود و به پایه گرافیت خواص ویژه ای می بخشد، بنابراین سطح گرافیت را فشرده، بدون تخلخل، مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی و مقاومت در برابر اکسیداسیون می کند.
گیرنده اپیتاکسی سیلیکون کاربید ما برای دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام طراحی شده است و از یکنواختی پروفیل حرارتی اطمینان حاصل می کند. این به جلوگیری از هرگونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها کمک می کند و از رشد اپیتاکسیال با کیفیت بالا بر روی تراشه ویفر اطمینان می دهد.
امروز با ما تماس بگیرید تا در مورد اپیتاکسی سیلیکون کاربید ما بیشتر بدانید.

پارامترهای گیرنده اپیتاکسی کاربید سیلیکون

ویژگی های سیلیکون کاربید Epitaxy Susceptor

- هم بستر گرافیت و هم لایه کاربید سیلیکون چگالی خوبی دارند و می توانند نقش محافظتی خوبی در دمای بالا و محیط های کاری خورنده داشته باشند.
- سوسپتور با روکش کاربید سیلیکون که برای رشد تک کریستال استفاده می شود، صافی سطحی بسیار بالایی دارد.
- کاهش تفاوت در ضریب انبساط حرارتی بین بستر گرافیت و لایه کاربید سیلیکون، به طور موثر استحکام پیوند را برای جلوگیری از ترک خوردگی و لایه لایه شدن بهبود می بخشد.
- هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند.
- نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی.