رسوب اپیتاکسیال سیلیکون در راکتور بشکه ای

Semicorex Silicon Epitaxial Deposition In Barrel Reactor محصولی ایده آل برای رشد لایه های اپیکسیال بر روی تراشه های ویفر است. این یک حامل گرافیت با پوشش SiC با خلوص بالا است که در برابر گرما و خوردگی بسیار مقاوم است و برای استفاده در محیط های شدید بسیار مناسب است. این گیره بشکه برای LPE مناسب است و عملکرد حرارتی عالی را ارائه می دهد و یکنواختی پروفیل حرارتی را تضمین می کند. علاوه بر این، بهترین الگوی جریان گاز آرام را تضمین می کند و از انتشار آلودگی یا ناخالصی ها به ویفر جلوگیری می کند.

در Semicorex، ما بر ارائه محصولات با کیفیت بالا و مقرون به صرفه به مشتریان خود تمرکز می کنیم. رسوب دهی سیلیکونی در راکتور بشکه ای ما دارای مزیت قیمتی است و به بسیاری از بازارهای اروپایی و آمریکایی صادر می شود. هدف ما این است که با ارائه محصولات با کیفیت ثابت و خدمات استثنایی به مشتریان، شریک طولانی مدت شما باشیم.

پارامترهای رسوب اپیتاکسیال سیلیکون در راکتور بشکه ای

ویژگی های رسوب اپیتاکسیال سیلیکون در راکتور بشکه ای

- هم بستر گرافیت و هم لایه کاربید سیلیکون چگالی خوبی دارند و می توانند نقش محافظتی خوبی در دمای بالا و محیط های کاری خورنده ایفا کنند.

- سوسپتور با روکش کاربید سیلیکون که برای رشد تک کریستال استفاده می شود، صافی سطحی بسیار بالایی دارد.

- کاهش تفاوت در ضریب انبساط حرارتی بین بستر گرافیت و لایه کاربید سیلیکون، به طور موثر استحکام پیوند را برای جلوگیری از ترک خوردگی و لایه لایه شدن بهبود می بخشد.

- هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند.

- نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی.