پایه سیلیکونی

1. پایه سیلیکونی Semicorex تثبیت کننده محیط پردازش برای نتایج بهینه:

ایجاد یک پایه پایدار برای قایق های کریستالی:پایه سیلیکونی یک پلت فرم قوی و پایدار از نظر حرارتی برای قایق‌های سیلیکونی در محفظه کوره با دمای بالا فراهم می‌کند. این پایداری تضمین می‌کند که قایق‌ها موقعیت و جهت خود را در طول فرآیند حفظ می‌کنند و از حرکت یا کج شدن ناخواسته که می‌تواند دینامیک جریان گاز را مختل کند و یکنواختی دما را به خطر بیندازد، جلوگیری می‌کند.

افزایش یکنواختی دما در اتاق واکنش:با جداسازی موثر قایق سیلیکونی از کف و دیوارهای کوره، پایه سیلیکونی اتلاف گرما را از طریق هدایت به حداقل می رساند و توزیع یکنواخت تر دما را در لوله واکنش حرارتی ایجاد می کند. این قابلیت مدیریت حرارتی پیشرفته برای دستیابی به پروفایل های پخش یا اکسیداسیون ثابت و تکرارپذیر در کل سطح ویفر بسیار مهم است.

افزایش راندمان عایق برای استفاده بهینه از انرژی:خواص عایق حرارتی ذاتی پایه سیلیکونی با به حداقل رساندن اتلاف گرما به محیط اطراف، به یک فرآیند کارآمدتر انرژی کمک می کند. این به چرخه‌های گرمایش و سرمایش سریع‌تر، کاهش مصرف انرژی و در نهایت کاهش هزینه‌های کلی پردازش ترجمه می‌شود.

2. هم افزایی مواد برای کیفیت برتر ویفر:

انبساط حرارتی منطبق برای کاهش استرس ویفر:پایه سیلیکون، ساخته شده از همان مواد سیلیکونی با خلوص بالا مانند خود قایق ها و ویفرها، یک مزیت حیاتی نسبت به مواد جایگزین مانند کوارتز یا کاربید سیلیکون دارد. این هم‌افزایی مواد تضمین می‌کند که پایه، قایق و ویفرها با سرعت‌های تقریباً یکسانی در طول چرخه‌های گرمایش و سرمایش منبسط و منقبض می‌شوند و خطر استرس حرارتی، خم شدن ویفر و نقص‌های کریستالوگرافی را به حداقل می‌رساند که می‌تواند بر عملکرد و عملکرد دستگاه تأثیر منفی بگذارد.

به حداقل رساندن آلودگی و عدم تطابق شبکه:استفاده از سیلیکون با خلوص بالا هم برای پایه سیلیکونی و هم برای قایق، پتانسیل آلودگی ناشی از مواد غیر مشابه را از بین می برد و محیط پردازشی بکر را برای ویفرها تضمین می کند. این سازگاری مواد همچنین خطر عدم تطابق شبکه در رابط ویفر-قایق را به حداقل می‌رساند و به بهبود کیفیت کریستال و کاهش تراکم نقص کمک می‌کند.