کاست های تفلون

کاست های نیمورکس تفلون حامل های ویفر با کارایی بالا هستند که به طور خاص برای استفاده در محیط های شیمیایی که در آن خلوص ، مقاومت شیمیایی و پایداری حرارتی ضروری است ، مهندسی شده اند. این کاست ها که از پلی تترا فلوئورو اتیلن (PTFE) ساخته شده است ، به طور گسترده ای در ساخت نیمه هادی ، اچ کردن مرطوب ، تمیز کردن شیمیایی و سایر کاربردها استفاده می شود که قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی بسیار تهاجمی روتین است. ماهیت غیر واکنشی آنها باعث می شود آنها برای دستیابی به بسترهای ظریف مانند ویفرهای سیلیکون ، پانل های شیشه ای و سایر اجزای دقیق بدون معرفی آلودگی یا ذرات در این فرآیند ایده آل شوند.

در فرآیندهای مختلف تولید نیمه هادی ، مانند لیتوگرافی ، اچ و کاشت یون ، کاست ها در حمل و نقل و انتقال ویفرها بین دستگاه های مختلف نقش دارند. تجهیزات مختلف فرآیند ممکن است نیازهای رابط مختلفی برای کاست ها داشته باشند تا اطمینان حاصل شود که حامل های ویفر می توانند به طور دقیق دریافت و قرار بگیرند.

از منظر مواد و طراحی ، موادی که مقاوم در برابر گرما هستند ، دارای خواص مکانیکی عالی ، پایداری بعدی هستند و از دوام ، ضد استاتیک ، کم بار ، بارش کم و قابل بازیافت استفاده می شوند. اندازه های مختلف ویفر ، گره های فرآیند و فرآیندها از مواد مختلف استفاده می کنند. مواد کلی عبارتند از PFA ، PTFE ، PP ، PEEK ، PES ، PC ، PBT ، PEI ، COP و غیره.

کاست های تفلون مقاومت شیمیایی برتر را در محیط هایی با استفاده از اسید هیدروفلوئوریک ، اسید نیتریک ، اسید سولفوریک و سایر خورنده های قوی ارائه می دهند. بر خلاف مواد معمولی مانند پلی پروپیلن یا فولاد ضد زنگ ، PTFE تخریب نمی شود. تورم نمی کند شستشوی هیچ ماده ای در حمام های شیمیایی خشن. بنابراین عملکرد در طی دوره های طولانی تضمین می شود و از این رو قابلیت اطمینان کاست ها برای خطوط تولید با توان بالا و محیط های فوق العاده تمیز. استحکام آن به معنای کمتری نیازهای نگهداری و فرکانس جایگزینی است و در نتیجه هزینه های عملیاتی بلند مدت را کاهش می دهد.

کاست های تفلون ثبات حرارتی بسیار بالایی را نشان می دهد. آنها به راحتی می توانند دما را از -200 درجه سانتیگراد تا +260 درجه سانتیگراد ، برای کرایوژنیک و همچنین برای فرآیندهای درجه حرارت بالا در برابر استفاده کنند. کاست ها حتی در اتاق های خشک کن گرم یا حمام های شیمیایی سرد قرار می گیرند ، قدرت ساختاری خود را از دست نمی دهند. آنها پیچ و خم و ترک نمی کنند ، و اطمینان حاصل می کنند که ویفرها در طول پردازش با خیال راحت نگه داشته می شوند. این مقاومت دما به طور قابل توجهی در کنترل و یکنواختی فرآیند ، که برای ساخت نیمه هادی و MEMS بسیار مهم است ، کمک می کند.

یک ویژگی به همان اندازه مهم کاست های تفلون ، سطح بی اثر و غیر چسبنده آن است. PTFE ذاتاً امکان جذب ذرات و باقیمانده های شیمیایی را فراهم نمی کند ، بنابراین خطرات آلودگی در محیط های تمیز را کاهش می دهد. این باید با یک سطح صاف و صاف همراه باشد که امکان شستشوی آسان و خشک شدن سریع را فراهم می کند ، بنابراین نتایج پاک کننده تر و زمان چرخه سریعتر نتیجه می گیرد. در پردازش نیمه هادی ، جایی که نقص می تواند در اثر آلاینده های میکروسکوپی حتی ایجاد شود ، این سطح پاکیزگی و عدم تحرک شیمیایی الزامی است.

هر کاست به طور دقیق با تحمل اندازه محکم ساخته می شود و در حین جابجایی و قرار دادن در مایع ، تراز و فاصله ویفر پایدار را تضمین می کند. فرم به راحتی طراحی شده آنها به جریان سریع و زهکشی شیمیایی کمک می کند ، که سرعت نرخ ارز شیمیایی را سرعت می بخشد و تمیز کردن یا یکنواختی اچ را در سطح ویفر بهبود می بخشد.  کاست ها در اندازه های استاندارد برای ویفرهای 4 اینچی ، 6 اینچی و 8 اینچی در دسترس هستند و گزینه های سفارشی سازی در دسترس هستند تا ابعاد بستر خاص ، شمارش شکاف ها و شرایط لازم را داشته باشند.

کاست های تفلون برای سازگاری با نیمکت های مرطوب خودکار و سیستم های حمل و نقل ویفر رباتیک طراحی شده است ، به راحتی در اکثر تنظیمات تولید نیمه هادی ادغام می شوند. ساخت و ساز قوی و پایان کلاس تمیز آنها با خواسته های دقیق محیط های دارای مجوز ISO مطابقت دارد. تمام کاست ها تحت بازرسی کامل قرار می گیرند و برای رعایت استانداردهای پاکیزگی مورد نیاز برای تولید پیشرفته میکروالکترونیک در آب فوق العاده تمیز شده اند. برای اطمینان از انطباق با پروتکل های تضمین کیفیت ، گواهینامه های انطباق و ردیابی کامل مواد ارائه می شود.