قایق های ویفر کوارتز عمودی

در فرآیندهای تولید نیمه هادی، اجزای نیمه هادی در محفظه واکنش باید استانداردهای دقیق تمیزی بالا را رعایت کنند. در غیر این صورت، حتی ناخالصی‌ها یا آلاینده‌های در مقیاس میکرو یا در مقیاس نانو می‌توانند آسیب‌های جبران‌ناپذیری به عملکرد و بازده دستگاه‌های نیمه‌رسانا وارد کنند.

قایق های ویفر کوارتزمعمولاً به صورت عمودی در محفظه‌های واکنش با دمای بالا مانند کوره‌های انتشار، کوره‌های اکسیداسیون و کوره‌های بازپخت نصب می‌شوند، جایی که باید در تماس مستقیم با ویفرها باشند. قایق های ویفر کوارتز عمودی Semicorex توسط مواد کوارتز با خلوص بالا برای برآوردن این نیازهای تمیزی بالا تولید می شوند. این انتخاب عاقلانه مواد به طور موثر از آلودگی ویفر ناشی از واکنش دهنده های آزاد شده از قایق های ویفر در طول فرآیند تولید جلوگیری می کند.

در تولید نیمه‌رسانا، قایق‌های ویفری نه‌تنها باید چرخه‌های مکرر گرمایش و سرمایش را پشت سر بگذارند، بلکه در برابر خوردگی گازهای فرآیند در مدت زمان طولانی مقاومت می‌کنند. کوارتز عمودی Semicorexویفرقایق ها به دلیل پایداری حرارتی ذاتی خود، در شرایط عملیاتی چالش برانگیز چرخه حرارتی ثابت، ثبات ابعادی استثنایی از خود نشان می دهند. این خواص حرارتی برتر به طور قابل توجهی از تغییر شکل ویفر و آسیب ناشی از تخریب دقیق یا تغییر شکل ساختاری قایق های ویفر کوارتز عمودی جلوگیری می کند. علاوه بر این، قایق های ویفر کوارتز عمودی به دلیل بی اثری شیمیایی بالای خود می توانند در برابر واکنش با گازهای خورنده مانند اکسیژن، بخار آب، کلرید هیدروژن و آمونیاک مقاوم باشند. این خاصیت احتمال اینکه خوردگی شیمیایی یکپارچگی ساختاری قایق های ویفر کوارتز عمودی را به خطر بیندازد تا حد زیادی کاهش می دهد.

علاوه بر مزایای عملکردی که در بالا ذکر شد، قایق‌های ویفر کوارتز عمودی Semicorex نیز رقابتی عالی در دقت ابعاد و طراحی ساختاری نشان می‌دهند. هر قسمت از آنها با تکنیک های ماشینکاری دقیق ساخته می شوند. این کنترل ابعادی دقیق، موقعیت دقیق ویفر را تضمین می کند، خراش ها و ترک های ناشی از جابجایی یا برخورد در هنگام بارگیری، پردازش و تخلیه را به حداقل می رساند.