کوزه زنگ کوارتز 15 اینچی

جار کوارتز 15 اینچی Semicorex برای پاسخگویی به این چالش ها مهندسی شده است و راه حلی با کارایی بالا برای پردازش دسته ای در مقیاس متوسط تا بزرگ ارائه می دهد که در آن یکنواختی حرارتی و خلوص مواد برای به حداکثر رساندن بازده ضروری است. در صنایع نیمه هادی و لایه نازک، یکپارچگی محفظه فرآیند افزایش می یابد. محیط تمیز، پایدار و بی اثر شیمیایی غیرقابل مذاکره می شود.

1. علم مواد: خلوص سیلیس ذوب شده

پایه کوزه زنگی ما خلوص بالایی داردسیلیس ذوب شده (کوارتز). برخلاف شیشه استاندارد، کوارتز تقریباً به طور کامل از SiO2 تشکیل شده است و خواص منحصر به فردی را ارائه می دهد که برای ساخت نیمه هادی ها حیاتی است:

آلودگی بسیار کم: کوارتز ما برای به حداقل رساندن عناصر کمیاب فلزی (مانند Al، Fe، Na و K) تا سطح قسمت در میلیارد (ppb) پردازش می‌شود. این امر از انتشار ناخالصی ها در ویفر در چرخه های دمای بالا جلوگیری می کند و یکپارچگی الکتریکی دستگاه ها را تضمین می کند.

مقاومت در برابر شوک حرارتی برتر: کوارتز دارای ضریب انبساط حرارتی (CTE) نزدیک به صفر است. این به کوارتز بل جار 15 اینچی اجازه می‌دهد تا در برابر افزایش سریع دما و خاموش شدن بدون خطر شکستگی یا خستگی ساختاری مقاومت کند - یک نیاز حیاتی برای راکتورهای با توان بالا.

بی اثری شیمیایی عالی: کوارتز در برابر اکثر اسیدها (به استثنای اسید هیدروفلوئوریک) و گازهای فرآیند خورنده بسیار مقاوم است و تضمین می کند که محفظه در طول چرخه های حکاکی یا رسوب تهاجمی تجزیه نمی شود یا از گاز خارج نمی شود.

2. مهندسی دقیق و وضوح نوری

کوارتز بل جار 15 اینچی حداکثر حجم و دینامیک جریان گاز بهینه را برای پردازش دسته ای ویفر فراهم می کند. شیشه دارای یک دودکش عمودی (همچنین به عنوان گردن) است که به طور بهینه برای ارائه ورودی گاز یا کمک به استخراج گاز از طریق خلاء از شیشه طراحی شده است که در تصویر بالا نشان داده شده است.

شفافیت نوری - سطح بالای انتقالمواد کوارتزبرای انتشار طول موج در مناطق فرابنفش، مرئی و مادون قرمز طیف، امکان پردازش زمان واقعی و همچنین استفاده از گرمکن های لامپ خارجی برای پردازش حرارتی سریع (RTP) را فراهم می کند.

سطوح آب بندی تقویت شده - گردن کوزه دارای یک مهر و موم سفید مات مخصوصاً توسعه یافته است (که به عنوان اتصال زمین نیز نامیده می شود) که یک رابط هرمتیک (مبنده شده با هوا) و خلاء محکم بین صفحه اصلی راکتور و شیشه ایجاد می کند.

بازپخت برای کاهش استرس - همه کوزه‌های زنگ کوارتز ۱۵ اینچی تحت یک فرآیند بازپخت حرارتی سخت‌گیرانه قرار می‌گیرند تا استرس مکانیکی داخلی را که توسط فرآیند مکانیکی دمیدن یا شکل دادن به شیشه وارد شده است، کاهش دهد، بنابراین احتمال شکست خود به خود شیشه در هنگام قرار دادن در خلاء به میزان قابل توجهی کاهش می‌یابد.

3. کاربردهای حیاتی در کارخانه نیمه هادی

کوارتز بل جار 15 اینچی ما به طور خاص برای ادغام در فرآیندهای با ارزش بالا طراحی شده است:

اپیتاکسی سیلیکون: ارائه یک ظرف شفاف و غیر واکنشی برای رشد لایه های سیلیکونی تک کریستالی با کیفیت بالا.

CVD افزایش یافته پلاسما (PECVD): مقاومت در برابر محیط خورنده پلاسما در حالی که استحکام دی الکتریک بالا را حفظ می کند.

انتشار و اکسیداسیون: به عنوان یک محفظه تمیز و با حرارت بالا برای تشکیل اکسیدهای دروازه و درایو ناخالص عمل می کند.

تولید پریفرم فیبر نوری: ایده آل برای رسوب با خلوص بالا لایه های سیلیس در ساخت شیشه های تخصصی.

در Semicorex، ما هر شیشه زنگ را به عنوان یک قطعه از تجهیزات آزمایشگاهی دقیق کنترل می کنیم. فرآیند ما شامل موارد زیر است: منبع یابی دقیق مواد با درجه الکترونیکی تأیید شدهکوارتزشمش؛ ساخت پیشرفته ای که مهارت های سنتی دمیدن شیشه را با سنگ زنی و پرداخت کنترل شده با CNC ادغام می کند. و بازرسی کامل با استفاده از نور پلاریزه برای تشخیص تنش پسماند و تداخل سنجی لیزری برای بررسی دقیق ابعاد.