کوارتز بل نیمه هادی

کوارتز زنگ نیمه هادی Semicorex معمولاً از کوارتز ذوب شده مصنوعی ساخته می شود، ماده ای که به دلیل خلوص استثنایی، مقاومت در برابر دمای بالا و خواص انبساط حرارتی کم شناخته شده است. این تضمین می کند که محفظه آلاینده ها یا ناخالصی ها را وارد فرآیند ساخت نیمه هادی نمی کند.

کوارتز زنگ نیمه هادی معمولاً استوانه ای یا گنبدی شکل است که دارای پایه ای صاف یا کمی خمیده برای قرار دادن ویفرها یا بسترهای نیمه هادی است. دارای یک مکانیزم آب بندی دقیق مهندسی شده، مانند فلنج یا مهر و موم حلقه O، برای حفظ خلاء یا اتمسفر کنترل شده در داخل محفظه در طول پردازش.

نیمه هادی کوارتز بل جار شفافیت نوری بسیار خوبی را ارائه می دهد و به اپراتورها این امکان را می دهد تا به صورت بصری فرآیندهای داخل محفظه را بدون به خطر انداختن دقت یا ایجاد تداخل نظارت کنند. کوارتز در برابر حملات شیمیایی اکثر اسیدها، بازها و حلال هایی که معمولاً در فرآیندهای ساخت نیمه هادی استفاده می شوند، بسیار مقاوم است. این یکپارچگی محفظه را تضمین می کند و از آلودگی زیرلایه ها جلوگیری می کند.

کوارتز دارای نقطه ذوب بالا و پایداری حرارتی است و به کوارتز زنگ نیمه هادی اجازه می دهد تا در برابر دماهای بالا که در طی فرآیندهای رسوب گذاری یا بازپخت با آن مواجه می شوند، بدون تغییر شکل یا تخریب مقاومت کند.

برنامه های کاربردی:

رسوب دهی: کوزه های زنگ نیمه هادی کوارتز در تکنیک های مختلف رسوب گذاری مانند رسوب شیمیایی بخار (CVD)، رسوب گذاری بخار فیزیکی (PVD) و رسوب لایه اتمی (ALD) برای رسوب لایه های نازک مواد بر روی بسترهای نیمه هادی با دقت و یکنواختی استفاده می شوند.

اچ کردن: آنها در فرآیندهای اچ پلاسما برای حذف انتخابی مواد از ویفرهای نیمه هادی، ایجاد الگوها و ساختارهای پیچیده با دقت و تکرارپذیری بالا استفاده می شوند.

بازپخت: شیشه های زنگوله ای در فرآیندهای بازپخت برای قرار دادن ویفرهای نیمه هادی به عملیات حرارتی کنترل شده، تسهیل تبلور، فعال سازی ناخالصی و کاهش تنش در فیلم های رسوب شده استفاده می شوند.