حلقه بالا 8 اینچی EPI

حلقه بالا EPI Hemicorex 8 اینچی یک مؤلفه تخصصی از سیستم های رسوب اپیتاکسیال (EPI) است که عملکرد بالایی را به عنوان حلقه پوشش بالا در محفظه واکنش ارائه می دهد. با تمرکز بر یکپارچگی ساختاری و پایداری حرارتی در طول رشد اپیتاکسیال ویفرهای نیمه هادی ، حلقه بالای EPI از گرافیت با خلوص بالا ساخته شده و با کاربید سیلیکون (SIC) پوشش داده می شود تا در برابر دما و محیط های واکنش شیمیایی تولید نیمه هادی مقاومت کند.

در راکتورهای اپیتاکسیال ، حلقه بالا به حفظ محیط ویفر کمک می کند و نقش مهمی در یکنواختی دما و جریان گاز در حین رسوب به عنوان بخشی از مونتاژ مستعد بازی می کند. پوشش SIC روی بستر گرافیت ، حلقه بالا EPI را با پایداری حرارتی و محیط بی اثر مورد نیاز برای محافظت از هسته گرافیت به دلیل قرار گرفتن در معرض گازهای فرآیندها در حین عملکرد حلقه بالا EPI (هیدروژن ، سیلین ، کلوروسیلان ها و غیره) فراهم می کند. سختی و هدایت لایه SIC با جلوگیری از تخریب و اجازه دادن به لایه های پایدارتر در طول چرخه تولید ، عملکرد حلقه بالا EPI را افزایش می دهد.

با تعهد به دقت بعدی ، قوام پوشش و تکرارپذیری ، حلقه بالای 8 اینچی EPI با مهندسی دقیق تولید می شود. بستر گرافیت برای تحمل های محکم ماشینکاری می شود و از نظر حرارتی برای ناخالصی های جداگانه تصفیه می شود و یک بستر تمیز با خلوص و استحکام عالی ارائه می دهد. پوشش SIC از طریق رسوب بخار شیمیایی (CVD) استفاده می شود ، تا یک لایه محافظ متراکم ، سازگار و به شدت پیوند ایجاد شود. این فرایند تولید ذرات را به حداقل می رساند و به پوشش اجازه می دهد تا یکپارچگی سطح را در حین استفاده طولانی حفظ کند.

تولید کنندگان نیمه هادی برای حفظ پارامترهای مهم محفظه و پشتیبانی از ویفرهای بدون نقص در طول تولید ، به حلقه بالا EPI تکیه می کنند. این پیکربندی برای استفاده با سیستم های پردازش ویفر 8 اینچی OEM طراحی شده است. گزینه های سفارشی برای ضخامت ، پایان سطح و طرح های شیار برای مدیریت بهتر حرارتی یا حتی توزیع گاز در دسترس است.

مطابقت با خواص گرافیت پوشش داده شده SIC برای این برنامه ، بهترین خواص از هر دو ماده را به خود اختصاص می دهد. گرافیت بسیار قابل استفاده است و مقاومت در برابر شوک حرارتی همراه با کاربید سیلیکون است که سخت تر ، مقاوم در برابر خوردگی و عمر خدمات طولانی تر است. این ترکیب در نهایت یک حلقه بالا EPI را به شما می دهد که در دمای بالا قابل اعتماد است و یک محیط پردازش تمیز و پایدار را تضمین می کند که فواصل نگهداری را کاهش می دهد و تجهیزات کلی پیشرفته را به موقع فراهم می کند.

اجزای گرافیت نقش ضروری و اساسی در تولید نیمه هادی دارند. کیفیت مواد گرافیتی به طور قابل توجهی بر کیفیت محصول نهایی تأثیر می گذارد. قوام دسته ای گرافیت و همگن مواد ما در طول فرآیند تولید کنترل و تضمین می شود.

1. تولید دسته ای با استفاده از یک کوره کربن سازی کوچک با ظرفیت تنها 50 متر مکعب.

2. هر قطعه از مواد کنترل و ردیابی می شود.

3. نظارت برتر در نقاط مختلف در کوره ، اختلاف حداقل دما را تضمین می کند.

4. مانیتورینگ Temperature در چندین نقطه روی مواد ، اختلافات حداقل دما را تضمین می کند.

حلقه بالای 8 اینچی EPI توسط Hemicorex عملکرد استثنایی ، قوام دسته ای به دسته ای و قابلیت اطمینان اثبات شده در دشوارترین نیمه هادی های سیلیکون ، کاربید سیلیکون یا سایر فرآیندهای نیمه هادی اپیتاکس را ارائه می دهد. در هر مرحله تولید ، ما محصولاتی با کنترل کیفیت تولید می کنیم ، این بدان معنی است که هر محصولی که برای صنعت نیمه هادی خریداری شده است از مشخصات کیفیت فراتر می رود.

حلقه بالای 8 اینچی EPI را برای برنامه Epitaxy خود انتخاب کنید تا از امکانات ارائه شده از طریق مهندسی دقیق ، مواد برتر و سفارشی سازی خاص برنامه برای بهبود بازده و عملکرد دستگاه استفاده کنید.