چاک های خلاء AL2O3

CHUCK های خلاء Semicorex al₂o₃ مؤلفه سرامیکی ریز و درشتی هستند که برای کاربردهای ویفر ، تثبیت و پردازش در صنعت نیمه هادی ساخته شده اند. ساخته شده از آلومینای سیاه با تخلخل کنترل شده 35 ٪ -40 ٪ ، این یک محیط بسیار پایدار ، تمیز و قابل اعتماد برای فرآیندهای جذب خلاء است. چاک پردازش سرامیکی بستر را بر روی یک سطح کاربردی با استفاده از تکنیک های تولید پیشرفته ترکیب می کند تا عملکرد مکش مداوم را برای ویفر شکننده کاربر در مراحل فرآیند بحرانی فراهم کند.

سیاهآلومینا (al₂o₃)؛ در مقایسه با فلزات و پلیمرها ، تعادل منحصر به فردی از استحکام مکانیکی ، سختی و مقاومت شیمیایی دارد. ساختار ریز برای تخلخل کنترل شده بهینه سازی شده است تا توزیع خلاء مداوم در سطح چاک خلاء فراهم شود. توزیع خلاء مداوم در سراسر سطح کامل یک چاک ویفر غلظت استرس موضعی را به حداقل می رساند و خطر تحریف ویفر ، تراش لبه و شکستگی را محدود می کند. از آنجا که ساخت ویفر همچنان به قطر خود ادامه می دهد ، و هندسه ها و دستگاه ها شکننده تر می شوند ، عملکرد فرآیند و بهبود قابلیت اطمینان از ویفر به نیازهای اساسی تبدیل می شود.

تخلخل کنترل شده 35-40 ٪ مشخصه اصلی این چاک خلاء است. یک شبکه منافذ بهینه شده می تواند تلاطم را در هنگام تخلیه هوا از منطقه منافذ به حداقل برساند و ضمن حفظ قدرت و دوام مکانیکی ، نیروی نگهدارنده را حفظ کند. در مقابل ، گیره های مکانیکی از صفحاتی استفاده می کنند که باعث ایجاد استرس موضعی می شوند و در برابر خصوصیات مکانیکی ویفر فردی کار می کنند. بنابراین ، سطح آلومینای ریز در طول رویکردهای مکانیکی در نگه داشتن ویفرها مسطح و ناسازگار برتر است. این امر باعث می شود کاندیدای مناسبی برای فرآیندهای نیمه هادی با تکنولوژی بالا که از مسطح ویفر و نگه داشتن صاف بهره مند می شوند ، از جمله لیتوگرافی ، اچ ، رسوب و اندازه گیری بهره مند شوند.

از دیدگاه حرارتی ، ماده آلومینای سیاه این توانایی را برای حفظ ثبات بعدی در دمای بالا دارد. با ضریب کم انبساط حرارتی ، یک چاک خلاء حتی در طول چرخه های گرمایش و سرمایش قادر به ماندن دقیق است ، که به دلیل نوسانات سریع دما که اغلب در محیط های پردازش ویفر رخ می دهد ، یک جنبه مهم است. سختی و مقاومت سایش این سرامیک همچنین باعث افزایش طول عمر چاک ، کاهش فرکانس نگهداری برای اپراتورهای تجهیزات و کاهش کل هزینه مالکیت می شود.

عدم تحرک شیمیایی سرامیک آلومینا یکی دیگر از ویژگی های قابل توجه است. در فاب های نیمه هادی ، اجزای تجهیزات نیاز به تحمل مواد شیمیایی تهاجمی ، مواد تمیز کننده یا محیط های پلاسما بدون خراب شدن دارند. آلومینای سیاه دارای خواص بسیار خوبی برای مقاومت در برابر خوردگی ، اکسیداسیون و/یا آلودگی سطح است و از این طریق ساختار و پایداری ساختاری/فازی را در دوره های چرخه عمل هیجان زده حفظ می کند. این خاصیت در محل همچنین بدان معنی است که ویفرها در معرض آلودگی قرار نمی گیرند که از عملکرد این دستگاه ها محافظت می کند و همچنین به پروتکل های اتاق تمیز اعتماد دارد.

نه تنها چاک های خلاء Al₂o₃ عملکرد عملکردی عالی را نشان می دهند ، بلکه سطح سطح نیز کاملاً کنترل می شود. پایان با استفاده از فرآیندهای ماشینکاری و پرداخت با دقت بالا که باعث صافی و صافی یکنواخت می شود ، به طوری که ویفرهای ظریف بدون خراش و آسیب سطح قابل نگه می دارند. تخلخل بسیار مهندسی شده مواد تعادل مناسب بین مکش و محافظت از سطح را به همراه دارد و باعث می شود نیروی نگهدارنده کافی روی ویفر باشد ، در حالی که از هرگونه آسیب به بسترهای نازک و شکننده جلوگیری می کند.

از دیدگاه عملیاتی ، شکافهای خلاء Al₂o₃ مؤلفه مهمی در ساخت نیمه هادی معاصر هستند. این اتوماسیون را تسهیل می کند و اجازه می دهد ویفرها برداشت ، قرار داده ، تراز شده و پردازش شوند و قابل اطمینان را برآورده می کنند. رنگ سیاه آلومینا همچنین با کاهش بازتاب نور در طی بازرسی های نوری و فرآیندهای اندازه گیری ، به ویژه در مواردی که از تجهیزات نوری با دقت بالا استفاده می شود ، مزایای عملی را فراهم می کند.

ترکیبی از فناوری سرامیک پیشرفته با یک طراحی خوب ، در خلاء Al₂o₃ ، یک راه حل با کارایی طولانی مدت برای چالش های دست زدن به تولید کنندگان نیمه هادی ، به دست آمده است. خلاء Al₂o₃ با کاهش از بین رفتن ویفر ، بهره وری را بهبود می بخشد ، به دلیل دوام ، خرابی را کاهش می دهد و با تأمین نیروی نگهدارنده خلاء ، ثبات فرآیند را افزایش می دهد.

semicorex al₂o₃ خلاء ساخته شده از سیاه ریزالومینچیزی بیش از یک فیکسچر است. این یک عامل مهم در ساخت نیمه هادی دقیق است. با تخلخل بهینه شده خود ، خصوصیات استثنایی مواد و عملکرد قوی ، این کار را با استفاده از ویفر قابل اعتماد در فرایندهای ساختگی تقاضا می کند. برای تولید کنندگان که به دنبال دستیابی به عملکرد بالاتر ، بهبود راندمان فرآیند و عملکرد تجهیزات برتر هستند ، خلاء سیاه آلومینا چاک یک انتخاب ضروری است.