آلومینا متخلخل

چاک های آلومینای متخلخل نیمه نیمه برای ظریف ترین ویفرها ساخته شده اند. طراحی متخلخل آنها اطمینان از توزیع خلاء مداوم در سطح چاک را فراهم می کند ، که باعث کاهش استرس موضعی می شود و در جلوگیری از تراش لبه و شکستگی به آنها کمک می کند. بستن مکانیکی (جامد یا در غیر این صورت) به اندازه شبکه ریز و درشت که حتی ویفرهای ظریف و بدون استرس مکانیکی را محدود می کند ، در عین حال با خیال راحت ویفر را نیز برطرف می کند ، زیرا ساختار میکروپور مانع از سایش می شود و یک نگه داشتن ملایم را فراهم می کند. نیاز به جذب یکنواخت در کل سطح چاک مخصوصاً برای ویفرهایی که بزرگتر و نازک تر هستند بسیار مهم است که می تواند استرس بسیار کمتری را در حین کنترل خودکار تحمل کند و ضمن اجرای مراحل پردازش با دقت بالا باشد.

بهینه سازی شده برای تخلخل 35-40 ٪ ، چاک شبکه ای از منافذ بین اتصال را ایجاد می کند که در عین حال استحکام مکانیکی کافی برای نگه داشتن ویفر در برابر نیروهای فرآیند ، برای تخلیه هوا انجام می شود. این بدان معناست که نیروی نگهدارنده خلاء در حین حرکت ویفرها ، حتی در پی در پی سریع ، در حالی که یک توالی فرآیند پیچیده را انجام می دهد ، پایدار می ماند. جذب در یک شبکه ریز و درشت ثبات بیشتر از طریق ایجاد تفاوت در فشار در سیستم خلاء را فراهم می کند.

آلومینای سیاه (al₂o₃) ، خود ماده نهایی است زیرا سخت ، مقاوم در برابر سایش و از نظر شیمیایی بی اثر است. این سطح قابل ملاحظه ای را تخریب نمی کند و از طریق چرخه های مکرر ویفر (جذب/ جذب/ خنک کننده خلاء) تحت تأثیر قرار نمی گیرد. سیاهالومیناز نظر ابعادی پایدار است ، بنابراین با وجود تغییرات دما که به طور طبیعی در طی فرآیند (گرمایش و سرمایش) یا در محیط رخ می دهد ، تغییر نخواهد کرد.

مقاومت شیمیایی یکی دیگر از مزایای اصلی آلومینای سیاه است. چاک می تواند در محیط های تمیز کننده ، پلاسما و اچ کردن تهاجمی کار کند بدون اینکه یکپارچگی ساختاری آن را به خطر بیاندازد. عدم تحرک آن از آلودگی سطح ویفر جلوگیری می کند و از خلوص فرآیند بالا و پایبندی به استانداردهای پاکسازی اطمینان می دهد.

ساختار ریز و درشت همچنین سطح حمایتی را ارائه می دهد که غلظت استرس را بر روی ویفرهای نازک و شکننده تسکین می دهد. در پشت سر هم با صافی سطح دقیق و سطح صاف ، چاک های آلومینای متخلخل باعث بروز ریز و درشت و خراش هایی می شوند که می توانند یکپارچگی ویفر را به خطر بیاندازند.

سرامیکدارای سختی عالی ، مقاومت مکانیکی بالا ، ضریب حرارتی کم انبساط و ثبات حرارتی عالی است که آن را به یک ماده عملی برای یک کاربرد نیمه هادی دقیق تبدیل می کند. همچنین ، عدم تحرک شیمیایی آن به معنای مقاومت در برابر اسیدها ، قلیایی ها و پلاسما است ، در حالی که خصوصیات مقاومت در برابر سایش دوام را تضمین می کند ، این مزایا باعث می شود که آلومینا به عنوان مواد انتخابی برای جوجه های خلاء ریز و درشت باشد و هم قابلیت اطمینان و هم پیش بینی عملکرد را فراهم کند.

در نتیجه ، چاک های آلومینا متخلخل برای تأمین یکنواخت و قابل حمل ویفر ویفر طراحی شده اند. ساختار آلومینای سیاه ریز و درشت آن حتی جذب خلاء (یکنواختی) را در عین حال به حداقل رساندن استرس مکانیکی و کاهش آسیب ویفر ارائه می دهد. به عنوان یک چاک ، تخلخل قابل توجه و بهینه همراه با خصوصیات حرارتی ، مکانیکی و شیمیایی برجسته ، به بهینه سازی ایمنی ویفر ، ارزش و قابلیت اطمینان عملکرد در شرایط ساختگی سخت کمک می کند. ترکیب عالی از دست زدن به قوی ، یکنواخت و ایمن که چاک های آلومینا متخلخل می توانند تولید کنندگان را ارائه دهند ، بسیار نادر و منحصر به فرد هستند.