مؤثر انتهای سرامیک آلومینا

Enfector End Semicora Alumina Enfector یک ابزار اساسی در سیستم های انتقال خودکار ویفر است و استحکام مکانیکی بی نظیر ، پایداری حرارتی و مقاومت شیمیایی را ارائه می دهد. با استفاده از خلوص بالا ساخته شده استسرامیک آلومینا (al₂o₃)، این مؤلفه نهایی برای پاسخگویی به خواسته های دقیق محیط های پردازش ویفر ، جایی که دقت ، پاکیزگی و دوام مهم است ، مهندسی شده است.

بازوهای ربات نیمه هادی یکی از بخش های مهم تجهیزات نیمه هادی است. آنها معمولاً از کنترل کننده ها ، درایورها ، بازوها و اثرات نهایی تشکیل شده اند. آنها با پاکیزگی بالا ، پایداری بالا ، دقت بالا ، راندمان بالا و قابلیت اطمینان بالا مشخص می شوند. روبات های نیمه هادی عمدتاً در فرآیند جلوی تولید نیمه هادی برای حمل ، حمل و نقل ویفرهای نیمه هادی استفاده می شوند.

ساختار سرامیکی که محتوای آلومینا به طور معمول بیشتر از 99.5 ٪ است ، سختی برتر و مقاومت سایش را برای حرکات مکرر در محیط های با دقت بالا و بدون تخریب به مرور زمان فراهم می کند. هدایت حرارتی بالا و گسترش حرارتی کم آلومینا باعث ثبات ابعادی در محیط هایی با دمای بالا می شود ، ضرورت در اکثر عملیات تمیز در نیمه هادی ها ، مانند یک اچر ، سپرده گذار ، بازرسی یا ابزار تمیز کردن.

درسرامیکEnd Effector دارای یک سطح مشخصه قابل توجه است که صاف است و دارای تخلخل کم است و باعث می شود ذرات صفر تولید شده و به حداقل رساندن یا اثر صفر بر روی آلاینده ها در هنگام کار با ویفر باشد. علاوه بر این ، آلومینا از نظر شیمیایی بی اثر است. این بدان معنی است که با هیچ یک از گازهای فرآیند و هرگونه مایعات فرآیندی که ویفر در تماس است واکنش نشان نمی دهد. این امر از ویفر و هرگونه آلودگی به خود و تجهیزات از هر چیزی که ممکن است باعث خوردگی شود ، محافظت می کند.

آنها به طور کلی به عنوان اثرات نهایی یا مکانیسم بستن مورد استفاده قرار می گیرند ، برای بازوهای روباتیک یا ماژول های انتقال در تجهیزات ساختگی ویفر و تجهیزات مانند اچر یا ابزار رسوب ، ابزار بازرسی یا تمیز کردن با شکافهای دقیق ، شیارها ، یا کانال های خلاء که اندازه آن 100 میلی متر ، 200 میلی متر ، یا 200 میلی متر ، یا 300 میلی متر و 300 میلی متر و ضبط و ضبط وافر را به دست می آورند. اثرات نهایی به طور معمول سرعت نقل و انتقالات ویفر را با سرعت 25 سانتی متر در ثانیه کنترل می کنند.

گزینه های سفارشی سازی در امتداد خطوط طراحی شده برای تجهیزات خاص یا اندازه ویفر وجود دارد. استحکام ساختاری آلومینا امکان پروفایل های نازک و سبک را فراهم می کند که جرم کلی سیستم کنترل را به حداقل می رساند و منجر به زمان پاسخ سریعتر می شود. برخی از تنظیمات همچنین ممکن است مؤلفه های ضد استاتیک یا عایق را برای محافظت بیشتر در بسترهای الکترونیکی حساس اضافه کنند.

به طور کلی ، مؤثر انتهای سرامیک آلومینا یک راه حل مؤثر را فراهم می کند که باعث بهبود عملکرد و کاهش آلودگی می شود ، جایی که قابلیت اطمینان عملیاتی عناصر اصلی برای خط پردازش ویفر است. با توجه به دوام و ویژگی های عملکرد بدنی ، مؤثر و مقرون به صرفه آلومینای سرامیک ، خود را به عنوان یک انتخاب محبوب در بین تولید کنندگان تجهیزات نیمه هادی و فاب هایی که به استانداردهای تولید دقیق در یک محیط فوق العاده تمیز نیاز دارند ، متمایز می کند.