سر دوش گرافیتی با روکش CVD SiC

در یک دستگاه پلاسما برای حکاکی و رسوب بخار شیمیایی (CVD) مواد روی ویفرها، گازهای فرآیند از طریق سر دوش گرافیتی با پوشش CVD SiC وارد یک محفظه فرآیند می شوند. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

سر دوش گرافیتی روکش شده Semicorex CVD SiC (Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) یک جزء تخصصی است که در فرآیندهای مختلف صنعتی مانند رسوب بخار شیمیایی (CVD) و رسوب بخار شیمیایی افزایش یافته با پلاسما (PECVD) استفاده می شود. نقش مهمی در رساندن گازهای پیش ساز یا گونه های فعال بر روی سطح بستر در طی این فرآیندهای رسوب گذاری ایفا می کند.

سر دوش گرافیتی با روکش CVD SiC از گرافیت با خلوص بالا ساخته شده و به روش CVD با لایه نازک SiC پوشش داده شده است. سر دوش گرافیتی با روکش CVD SiC خواص مفید گرافیت و SiC را ترکیب می کند و آن را به یک جزء ضروری در فرآیندهای رسوب گذاری مختلف تبدیل می کند که در آن توزیع دقیق و یکنواخت گاز مورد نیاز است، همراه با مقاومت در برابر دماهای بالا و محیط های شیمیایی.

ویژگی ها:

مقاومت شیمیایی

پایداری حرارتی

سطح صاف و یکنواخت

کاهش آلودگی