قطعه LPE

قطعات Semicorex LPE قطعاتی با عملکرد بالا با پوشش SiC هستند که به طور خاص برای استفاده در فرآیند epitaxy SiC طراحی شده اند. این اجزا برای مقاومت در برابر شرایط سخت رشد کریستال SiC طراحی شده‌اند و پایداری حرارتی، مقاومت شیمیایی و استحکام مکانیکی عالی را ارائه می‌کنند. هنگام انتخاب قطعات LPE Semicorex، دوام، دقت و راه حلی مناسب برای نیازهای فرآیند اپیتاکسی SiC شما تضمین شده است.

قطعات Semicorex LPE با مواد پیشرفته و تکنیک‌های ساخت دقیق ساخته شده‌اند که ثبات و قابلیت اطمینان را در هر واحد تضمین می‌کند. خواص فیزیکی و شیمیایی پوشش الزامات سختی برای مقاومت در برابر دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی دارد که مستقیماً بر عملکرد و عمر محصول تأثیر می گذارد. مواد SiC دارای استحکام بالا، سختی بالا، ضریب انبساط حرارتی پایین و هدایت حرارتی خوب است. این یک ماده ساختاری با دمای بالا و ماده نیمه هادی با دمای بالا است. برای پایه های گرافیت اعمال می شود. مزایای آن عبارتند از:

1) SiC در برابر خوردگی مقاوم است و می تواند پایه گرافیتی را به طور کامل بپیچد و چگالی خوبی برای جلوگیری از آسیب توسط گازهای خورنده دارد. 2) SiC دارای رسانایی حرارتی بالا و استحکام پیوند بالا با پایه گرافیتی است که اطمینان حاصل می کند که پس از تجربه چرخه های متعدد درجه حرارت بالا و دمای پایین به راحتی از بین نمی رود. 3) SiC پایداری شیمیایی خوبی برای جلوگیری از شکست پوشش در یک جو با دمای بالا و خورنده دارد. علاوه بر این، کوره های اپیتاکسیال از مواد مختلف به سینی های گرافیتی با شاخص های عملکرد متفاوت نیاز دارند. تطبیق ضریب انبساط حرارتی مواد گرافیتی مستلزم سازگاری با دمای رشد کوره اپیتاکسیال است. به عنوان مثال، دمای اپیتاکسی کاربید سیلیکون بالا است و سینی با تطابق ضریب انبساط حرارتی بالا مورد نیاز است. ضریب انبساط حرارتی SiC بسیار نزدیک به گرافیت است و آن را به عنوان ماده ترجیحی برای پوشش سطح پایه گرافیت مناسب می کند.

کاربردها در فرآیند اپیتاکسی SiC

فرآیند اپیتاکسی SiC یک مرحله حیاتی در تولید ویفرهای SiC با کیفیت بالا است که برای دستگاه های نیمه هادی از جمله الکترونیک قدرت و اپتوالکترونیک استفاده می شود. قطعات LPE، به ویژه آنهایی که دارای پوشش SiC هستند، نقش اساسی در کنترل دقیق دما و واکنش های شیمیایی درون راکتور دارند. این اجزا به صورت استراتژیک در راکتور قرار می گیرند تا رشد مطلوب ویفر را تسهیل کنند و در عین حال خلوص و یکنواختی کریستال های SiC را حفظ کنند.

در Semicorex، ما می‌دانیم که هر فرآیند epitaxy SiC نیازمندی‌های منحصر به فردی دارد. به همین دلیل است که قطعات LPE ما می توانند کاملاً سفارشی شوند تا نیازهای خاص عملیات شما را برآورده کنند. چه اندازه، شکل یا ضخامت پوشش باشد، تیم مهندسی ما از نزدیک با مشتریان برای ارائه قطعاتی که فرآیندهای تولید آنها را بهینه می کند، همکاری می کند.

پوشش SiC با کیفیت بالا که روی قطعات ما اعمال می شود، دوام برتر را تضمین می کند. برخلاف مواد معمولی، SiC طول عمر بیشتری را در شرایط عملیاتی سخت ارائه می‌کند و دفعات تعمیر و نگهداری و خرابی را کاهش می‌دهد. این طول عمر به معنای کاهش هزینه های عملیاتی و افزایش کارایی برای تولیدکنندگان نیمه هادی است.

قطعات Semicorex LPE با دقت طراحی و مهندسی شده اند تا نیازهای سختگیرانه فرآیند epitaxy SiC را برآورده کنند. قطعات ما با استفاده از آخرین فناوری تولید می شوند و تضمین می کنند که عملکرد و طول عمر بی نظیری دارند. با انتخاب Semicorex، شما شریکی را انتخاب می کنید که پیچیدگی های تولید نیمه هادی ها را درک می کند و متعهد به ارائه محصولات قابل اعتماد و باکیفیت است که توانایی های تولید شما را افزایش می دهد.

قطعات Semicorex LPE، با آنهاپوشش SiC، انتخاب ایده آلی برای افزایش عملکرد و طول عمر راکتورهای اپیتاکسی SiC هستند. این اجزا پایداری حرارتی، مقاومت شیمیایی و استحکام مکانیکی عالی را ارائه می‌کنند و تضمین می‌کنند که فرآیند رشد کریستال SiC شما به‌طور روان و کارآمد انجام می‌شود. با گزینه‌های سفارشی‌سازی موجود، Semicorex راه‌حل مناسبی را ارائه می‌کند که نیازهای فرآیند خاص شما را برآورده می‌کند و ما را به شریک قابل اعتماد تولیدکنندگان نیمه‌رسانا در سراسر جهان تبدیل می‌کند.