بخاری MOCVD

این بخاری با استفاده از گرافیت با خلوص بالا ساخته شده است که سطوح ناخالصی به طور دقیق تا کمتر از 5 قسمت در میلیون (ppm) کنترل می شود. سپس گرافیت با رسوب شیمیایی بخار (CVD) کاربید سیلیکون (SiC) پوشانده می شود که سطح خلوص آن بیش از 99.99995٪ است. این ترکیب از مواد مجموعه‌ای از خواص منحصر به فرد را به بخاری می‌بخشد که برای دستیابی به عملکرد بهینه در فرآیندهای رسوب بخار شیمیایی فلزی-آلی (MOCVD) ضروری است.

یکی از قابل توجه ترین ویژگی های هیتر Semicorex MOCVD خلوص شیمیایی استثنایی آن است. هسته گرافیتی با خلوص بالا به طور قابل توجهی ورود آلاینده ها را در فرآیندهای با دمای بالا به حداقل می رساند و از رسوب لایه های نازک فوق العاده تمیز اطمینان می دهد. پوشش CVD SiC این خلوص را بیشتر می‌کند و مانعی قوی در برابر فعل و انفعالات شیمیایی ایجاد می‌کند که می‌تواند یکپارچگی لایه‌های رسوب‌شده را به خطر بیندازد. این سطح بالای خلوص شیمیایی برای تولید دستگاه های نیمه هادی با عملکرد و قابلیت اطمینان بالا بسیار مهم است.

علاوه بر این، بخاری بسیار قوی و از نظر حرارتی کارآمد است و قادر به مقاومت در برابر شرایط حرارتی شدید معمولی فرآیندهای MOCVD است. خواص ذاتی SiC، مانند نقطه ذوب بالا و هدایت حرارتی آن، به توانایی بخاری برای مدیریت و توزیع موثر گرما کمک می کند. این راندمان حرارتی گرمایش یکنواخت را در سراسر بستر تضمین می کند، که برای دستیابی به رسوب یکنواخت فیلم و به حداقل رساندن گرادیان های حرارتی که می تواند منجر به نقص شود، ضروری است.

رسانایی الکتریکی یکی دیگر از مواردی است که بخاری Semicorex MOCVD در آن برتری دارد. هسته گرافیتی با خلوص بالا، رسانایی الکتریکی عالی را فراهم می کند و به بخاری اجازه می دهد تا بارهای الکتریکی بالا را به راحتی تحمل کند. این قابلیت به ویژه در فرآیندهای MOCVD که به کنترل دقیق دما و نرخ رسوب نیاز دارند، مهم است. توانایی بخاری برای حفظ عملکرد الکتریکی پایدار تحت بارهای بالا، شرایط فرآیند سازگار و تکرارپذیر را تضمین می کند، که برای تولید نیمه هادی های با بازده بالا حیاتی است.

سطح صاف بخاری با دقت طراحی شده است تا تابش بیشتری را به سمت زیرلایه ارائه دهد و کارایی انتقال حرارت تابشی را افزایش دهد. این ویژگی طراحی تضمین می کند که بستر گرمایش یکنواخت را دریافت می کند، که برای دستیابی به لایه های نازک با کیفیت بالا با ضخامت و خواص ثابت بسیار مهم است. سطح انتشار بالا همچنین به بازده حرارتی کلی بخاری کمک می کند، مصرف انرژی و هزینه های عملیاتی را کاهش می دهد.

از نظر دوام، هیتر Semicorex MOCVD مقاومت فوق العاده ای در برابر خوردگی، ضد اکسید شدن و استحکام مکانیکی بالا ارائه می دهد. پوشش CVD SiC یک لایه محافظ قوی ایجاد می کند که در برابر گازهای خورنده و مواد شیمیایی که معمولاً در فرآیندهای MOCVD با آن مواجه می شوند، مقاومت می کند. این مقاومت در برابر خوردگی طول عمر عملیاتی بخاری را افزایش می دهد و هزینه های تعمیر و نگهداری و تعویض را کاهش می دهد. ضد اکسید شدن بخاری تضمین می کند که پایدار بماند و حتی در دماهای بالا تخریب نشود و عملکرد و یکپارچگی ساختاری آن در دوره های طولانی عملیاتی حفظ شود.

در نهایت، استحکام مکانیکی بالای بخاری تضمین می‌کند که می‌تواند تنش‌های فیزیکی مرتبط با چرخه حرارتی و جابجایی زیرلایه را تحمل کند. این استحکام خطر خرابی مکانیکی را به حداقل می رساند و عملکرد قابل اعتماد و مداوم را تضمین می کند.