بخاری پوشش SiC

مزایای بخاری پوششی Semicorex SiC

1. حفاظت قوی در برابر محیط های واکنشی

پوشش سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی کوتینگ Heater به گونه ای طراحی شده است که حفاظت قوی در برابر محیط های واکنشی و خورنده ای که در فرآیندهای MOCVD و EPI با آن مواجه می شوند، ارائه دهد. پوشش SiC با چگالی بالا به عنوان یک مانع بزرگ عمل می کند و عنصر گرمایش را از آسیب محافظت می کند. این حفاظت عملکرد ثابت و قابل اعتماد را تضمین می کند و زمان خرابی و هزینه های تعمیر و نگهداری را کاهش می دهد.

2. افزایش پایداری و کارایی حرارتی

خواص حرارتی استثنایی پوشش SiC به افزایش پایداری حرارتی و کارایی بخاری‌های ما کمک می‌کند. توانایی پوشش برای مقاومت در برابر دمای بالا بدون تخریب تضمین می کند که بخاری پوشش SiC عملکرد خود را در مدت زمان طولانی حفظ می کند. این پایداری حرارتی برای دستیابی به کنترل دقیق دما در فرآیندهای نیمه هادی بسیار مهم است که منجر به بهبود کیفیت و عملکرد دستگاه می شود.

3. خلوص بالا و آلودگی کم

خلوص بسیار بالای پوشش SiC ما حداقل آلودگی را در فرآیند تولید نیمه هادی تضمین می کند. با ناخالصی های کمتر از 5ppm، پوشش ما هیچ آلاینده ای را وارد نمی کند که بتواند بر عملکرد و قابلیت اطمینان دستگاه های نیمه هادی تأثیر بگذارد. این خلوص بالا برای حفظ استانداردهای سختگیرانه مورد نیاز در ساخت نیمه هادی ضروری است.

4. قابلیت سفارشی سازی برای عملکرد بهینه

توانایی ما در تنظیم فرآیند پوشش SiC برای ارائه زبری سطح و ضخامت پوشش متفاوت به ما این امکان را می دهد که عملکرد بخاری های خود را برای کاربردهای خاص بهینه کنیم. این سفارشی سازی تضمین می کند که هر بخاری پوشش SiC کاملاً برای استفاده مورد نظر خود مناسب است و کارایی و قابلیت اطمینان کلی فرآیند تولید را افزایش می دهد.

5. دوام و طول عمر

چسبندگی عالی و دوام پوشش سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی کوتینگ هیتر، تضمین می کند که در مدت زمان طولانی، حتی در شرایط سخت، موثر باقی می ماند. این دوام نیاز به تعویض و نگهداری مکرر را کاهش می دهد و منجر به کاهش هزینه های عملیاتی و بهبود بهره وری می شود. مقاومت پوشش در برابر ترک خوردگی، طول عمر آن را بیشتر می کند و از محافظت و عملکرد پایدار اطمینان می دهد.

کاربرد در ساخت نیمه هادی

بخاری پوششی Semicorex SiC در فرآیندهای مختلف با دمای بالا در صنعت نیمه هادی ضروری است. این بخاری ها به ویژه برای موارد زیر ضروری هستند:

فرآیندهای MOCVD: رسوب بخار شیمیایی فلز-آلی فرآیندی محوری در ساخت نیمه هادی های ترکیبی است. در چنین محیط‌هایی، پوشش سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی سی کوتینگ Heater محافظت قوی از بخاری را فراهم می‌کند و از رسوب ثابت و قابل اطمینان اطمینان حاصل می‌کند.

فرآیندهای EPI: فرآیندهای رشد همبستگی نیاز به کنترل دقیق دما و محافظت در برابر گازهای راکتیو دارند. پوشش SiC ما در این شرایط عالی است و یکپارچگی و عملکرد عناصر گرمایش را حفظ می کند.