اخبار

درمان سطح برای چاک الکترواستاتیک سطح بالا

چاک الکترواستاتیک وظایف متعددی مانند تخلیه الکترواستاتیک یکنواخت، هدایت حرارتی و جذب و تثبیت ویفر در زمینه تولید نیمه هادی را بر عهده دارد. یکی از عملکردهای اصلی ESC جذب پایدار ویفرها در شرایط عملیاتی شدید مانند خلاء بالا، پلاسمای قوی و محدوده دمایی وسیع است. آنچه واقعاً عملکرد آنها را تعیین می کند ......

فرآیند دوپینگ چیست؟

در ساخت ویفرهای با خلوص فوق العاده بالا، ویفرها باید به استاندارد خلوص بیش از 99.999999999% برسند تا از خواص اساسی نیمه هادی ها اطمینان حاصل شود. بطور متناقض، برای دستیابی به ساختار عملکردی مدارهای مجتمع، ناخالصی های خاصی باید به صورت موضعی بر روی سطح ویفرها از طریق فرآیندهای دوپینگ وارد شوند. این ب......

چاک وکیوم سرامیکی

چاک های خلاء سرامیکی از مواد سرامیکی متخلخل با توزیع اندازه منافذ یکنواخت و اتصال داخلی ساخته شده اند. پس از آسیاب، سطح صاف و لطیف با صافی خوب است. آنها به طور گسترده در ساخت ویفرهای نیمه هادی مانند سیلیکون، یاقوت کبود و آرسنید گالیم استفاده می شوند.

هنگام انتخاب ویفرهای مناسب به چه شاخص هایی باید توجه کرد؟

انتخاب ویفر تأثیر بسزایی در توسعه و ساخت دستگاه های نیمه هادی دارد. انتخاب ویفر باید بر اساس الزامات سناریوهای کاربردی خاص هدایت شود و باید با استفاده از معیارهای حیاتی زیر به دقت ارزیابی شود.

اجزای سیلیکونی برای اچینگ خشک

تجهیزات اچینگ خشک از مواد شیمیایی مرطوب برای اچ استفاده نمی کنند. این ماده در درجه اول از طریق یک الکترود فوقانی با سوراخ های کوچک، یک اچانت گازی را وارد محفظه می کند. میدان الکتریکی ایجاد شده توسط الکترودهای بالایی و پایینی، اچانت گازی را یونیزه می‌کند، که سپس با ماده‌ای که قرار است روی ویفر حک می‌......

تفاوت بین لایه‌های ساختگی، تحقیقاتی و درجه تولید SiC