تولید نیمه هادی ها، سنگ بنای پیشرفت تکنولوژی مدرن، به دنبال مدارهای مجتمع کوچکتر، سریعتر و کارآمدتر است. این تعقیب بی وقفه نیاز به فرآیندهای تولیدی دقیق و پیچیده را افزایش می دهد، جایی که هر مرحله به شدت به تجهیزات با عملکرد بالا، با کیفیت و دقت بالا متکی است. کاربید سیلیکون (SiC)، یک ماده سرامیکی س......
ادامه مطلبچاک های الکترواستاتیک (ESC) در تولید نیمه هادی ها و تولید صفحه نمایش تخت ضروری شده اند و روشی بدون آسیب و بسیار قابل کنترل برای نگه داشتن و قرار دادن ویفرها و بسترهای ظریف در طول مراحل پردازش حیاتی ارائه می دهند. این مقاله به پیچیدگی های فناوری ESC می پردازد، اصول عملکرد، مکانیسم های مختلف چسبندگی و......
ادامه مطلبتوسعه 3C-SiC، یک نوع قابل توجه از کاربید سیلیکون، نشان دهنده پیشرفت مداوم علم مواد نیمه هادی است. در دهه 1980، نیشینو و همکاران. برای اولین بار با استفاده از رسوب شیمیایی بخار (CVD) [1]، یک فیلم 3C-SiC با ضخامت 4 میکرومتر بر روی یک بستر سیلیکونی به دست آورد که پایه و اساس فناوری لایه نازک 3C-SiC را ......
ادامه مطلب