حساس کننده سیاره

Semicorex Planetary Suster یک مؤلفه ضروری برای راکتورهای نیمه هادی اپیتاکس است ، که به طور خاص برای تجهیزات Aixstron G5+ مهندسی شده است. ساخته شده از گرافیت با خلوص بالا وپوشش داده شده با کاربید سیلیکون (sic)، این حساسیت ثبات حرارتی برتر ، مقاومت شیمیایی استثنایی و عملکرد بی نظیر در محیط های درجه حرارت بالا را تضمین می کند.

راکتور Aixstron G5+ Epitaxy به عنوان معیار در صنعت برای GAN ، SIC و سایر فرآیندهای رشد نیمه هادی مرکب قرار دارد. حساس کننده سیاره ای در بهینه سازی جریان گاز ، اطمینان از چرخش دقیق ویفر ، حفظ کنترل دقیق دما و دستیابی به رسوب یکنواخت لایه های اپیتاکسیال محوری است. طراحی نوآورانه آن به طور قابل توجهی تکرارپذیری فرآیند را افزایش می دهد و آن را به انتخاب ایده آل برای محیط های تولید با حجم بالا تبدیل می کند.

ویژگی های کلیدی  

- ترکیب مواد پیشرفته: ساخته شده از گرافیت با خلوص بالا با یک پوشش SIC ، دوام و مقاومت در برابر شرایط فرآیند سخت را فراهم می کند.  

- عملکرد حرارتی بهینه شده: توزیع گرمای یکنواخت را تضمین می کند ، که برای رشد لایه های با دقت بالا بسیار مهم است.  

- مقاومت شیمیایی: پوشش SIC از اکسیداسیون گرافیت جلوگیری می کند ، طول عمر حساس و حفظ خلوص فرآیند را افزایش می دهد.  

- مهندسی دقیق: برای پاسخگویی به نیازهای دقیق سیستم های Aixstron G5+ ، اطمینان از ادغام یکپارچه و راندمان بهینه راکتور طراحی شده است.  

- یکنواختی سطح بالا: آلودگی ذرات را به حداقل می رساند ، از کیفیت ویفر برتر و عملکرد بالاتر در تولید نیمه هادی پشتیبانی می کند.  

مزایای حساس سیاره ما  

- زندگی گسترده:روکشبه طور قابل توجهی سایش و پارگی را کاهش می دهد و در نتیجه فرکانس جایگزینی کمتر و کاهش هزینه های عملیاتی ایجاد می شود.  

- بهبود ثبات فرآیند: گرمایش مداوم و حداقل شیب حرارتی را تضمین می کند و منجر به تولید ویفر با کیفیت بالا می شود.  

- سازگاری و سفارشی سازی: در طرح های استاندارد و سفارشی برای برآورده کردن نیازهای فرآیند Aixstron G5+ موجود در دسترس است.  

گرافیتقطعات نقش ضروری و بسیار مهمی در فرآیند نیمه هادی دارند. کیفیت مواد گرافیتی تأثیر زیادی در کیفیت محصولات نهایی دارد. قوام دسته ای گرافیت ما و همگن مواد را می توان از طریق فرآیند تولید کنترل و تضمین کرد.

1. تولید دسته ای کوچک ، کوره کربن سازی فقط از یک کوره کوچک با تنها 50 متر مکعب استفاده می کند

2. هر قطعه از مواد کنترل و ردیابی می شود

3. مانیتورینگ دما چند نقطه ای در فضای کوره برای اطمینان از اینکه اختلاف دما در محدوده بسیار کمی نگهداری می شود

4. نظارت دما چند نقطه ای بر روی مواد برای اطمینان از حفظ اختلاف دما در محدوده بسیار کمی

Semicorex Planetary Susticor راه حل برتر برای راکتورهای Aixstron G5+ است و ثبات حرارتی برجسته ، مقاومت شیمیایی و عملکرد دقیق را ارائه می دهد. مهندسی شده برای ترین فرآیندهای تولید نیمه هادی ، بازده ویفر بالاتر را هدایت می کند ، خطر آلودگی را به حداقل می رساند و طول عمر تجهیزات را افزایش می دهد. سیستم Epitaxy خود را با یک حساسیت برتر برای نتایج بی نظیر ارتقا دهید.