هنگامی که صحبت از فرآیندهای جابجایی ویفر مانند اپیتاکسی و MOCVD می شود، پوشش SiC با دمای بالا برای محفظه های اچ پلاسما Semicorex بهترین انتخاب است. حامل های ما به لطف پوشش کریستالی SiC ما، مقاومت بالایی در برابر حرارت، حتی یکنواختی حرارتی، و مقاومت شیمیایی بادوام را ارائه می دهند.
ادامه مطلبارسال استعلام