حلقه های فوکوس بادوام Semicorex برای پردازش نیمه هادی برای مقاومت در برابر محیط های شدید محفظه های پلاسما اچ مورد استفاده در پردازش نیمه هادی طراحی شده اند. حلقه های فوکوس ما از گرافیت با خلوص بالا با روکش کاربید سیلیکون (SiC) متراکم و مقاوم در برابر سایش ساخته شده اند. پوشش SiC دارای خواص مقاومت در برابر خوردگی و حرارت بالا و همچنین هدایت حرارتی عالی است. ما SiC را در لایههای نازک روی گرافیت با استفاده از فرآیند رسوب بخار شیمیایی (CVD) اعمال میکنیم تا عمر مفید حلقههای فوکوس خود را بهبود ببخشیم.
ادامه مطلبارسال استعلام