حلقه های فوکوس بادوام برای پردازش نیمه هادی

حلقه های فوکوس بادوام Semicorex برای پردازش نیمه هادی برای مقاومت در برابر محیط های شدید محفظه های پلاسما اچ مورد استفاده در پردازش نیمه هادی طراحی شده اند. حلقه های فوکوس ما از گرافیت با خلوص بالا با روکش کاربید سیلیکون (SiC) متراکم و مقاوم در برابر سایش ساخته شده اند. پوشش SiC دارای خواص مقاومت در برابر خوردگی و حرارت بالا و همچنین هدایت حرارتی عالی است. ما SiC را در لایه‌های نازک روی گرافیت با استفاده از فرآیند رسوب بخار شیمیایی (CVD) اعمال می‌کنیم تا عمر مفید حلقه‌های فوکوس خود را بهبود ببخشیم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

حلقه های فوکوس بادوام ما برای پردازش نیمه هادی به منظور بهبود یکنواختی اچ در اطراف لبه ویفر یا محیط طراحی شده اند و آلودگی و نگهداری برنامه ریزی نشده را به حداقل می رساند. آنها برای بازپخت حرارتی سریع (RTA)، پردازش حرارتی سریع (RTP) و تمیز کردن شیمیایی خشن بسیار پایدار هستند.

در Semicorex، ما بر ارائه حلقه های فوکوس بادوام با کیفیت بالا و مقرون به صرفه برای پردازش نیمه هادی تمرکز می کنیم، رضایت مشتری را در اولویت قرار می دهیم و راه حل های مقرون به صرفه ارائه می دهیم. ما مشتاقانه منتظر هستیم تا شریک بلندمدت شما باشیم، محصولاتی با کیفیت بالا و خدمات استثنایی به مشتریان ارائه دهیم.

امروز با ما تماس بگیرید تا درباره حلقه های فوکوس بادوام ما برای پردازش نیمه هادی بیشتر بدانید.

پارامترهای حلقه های فوکوس بادوام برای پردازش نیمه هادی

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز FCC Î²
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	¼ دقیقه	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت گرمایی	J·kg-1 ·K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (خم 4pt، 1300)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
رسانایی گرمایی	(W/mK)	300