کامپوننت ICP با پوشش SiC Semicorex به طور خاص برای فرآیندهای کنترل ویفر در دمای بالا مانند اپیتاکسی و MOCVD طراحی شده است. با پوشش کریستال SiC ریز، حامل های ما مقاومت بالاتری در برابر حرارت، حتی یکنواختی حرارتی، و مقاومت شیمیایی بادوام را ارائه می دهند.
ادامه مطلبارسال استعلام