صفحه ماهواره

صفحه ماهواره ای نیمورکس یک حامل ویفر حیاتی در طی فرآیند رشد اپیتاکسیال است و تضمین رسوب یکنواخت و راندمان فرایند بهینه است. این صفحه که از گرافیت با خلوص بالا ساخته شده و با یک لایه کاربید سیلیکون قوی (SIC) روکش شده است ، این صفحه پایداری حرارتی استثنایی ، مقاومت شیمیایی و استحکام مکانیکی را ارائه می دهد و موقعیت آن را به عنوان یک مؤلفه ضروری در ساخت نیمه هادی با کارایی بالا تحکیم می کند.

با داشتن یک پایه گرافیت با خلوص بالا ، صفحه ماهواره ای در هدایت حرارتی و یکپارچگی ساختاری برتری دارد. درروکشبه طور قابل توجهی دوام آن را تقویت می کند و مقاومت در برابر درجه حرارت بالا ، عدم تحرک شیمیایی و کاهش چشمگیر تولید ذرات را فراهم می کند. این ترکیب قدرتمند تضمین می کند که صفحه در حالی که به طور مداوم در سطح بالایی انجام می شود ، شرایط پردازش سخت را تحمل می کند. پایه گرافیت انتقال حرارت کارآمد را تسهیل می کند و از توزیع دمای یکنواخت در ویفر اطمینان می دهد ، در حالی که پوشش SIC در برابر گازهای فرآیند خورنده محافظت می کند ، از آلودگی جلوگیری می کند و عمر خدمات را گسترش می دهد. علاوه بر این ، سطح SIC انتشار ذرات را به حداقل می رساند ، که برای دستیابی به ساخت نیمه هادی با بازده بالا بسیار مهم است.

به طور خاص برای ادغام یکپارچه با سیستم های Aixstron G5+ طراحی شده است ، صفحه ماهواره ای موقعیت یابی دقیق ویفر و تعادل چرخشی را تضمین می کند ، که برای حفظ شرایط حرارتی پایدار و کاهش نرخ نقص ضروری است. ترکیب مواد پیشرفته صفحه نه تنها عمر خدمات خود را گسترش می دهد بلکه هزینه های عملیاتی را نیز به میزان قابل توجهی کاهش می دهد و تولید تولید را افزایش می دهد.

در درجه اول در فرآیند رسوب بخار شیمیایی آلی فلزی (MOCVD) مورد استفاده قرار می گیرد ، صفحه ماهواره برای رشد لایه های اپیتاکسیال روی ویفرهای نیمه هادی بسیار مهم است. این نقش اساسی در تولید دستگاه های نیمه هادی پیشرفته ، از جمله LED ها ، الکترونیک برق مبتنی بر SIC و GAN ، اجزای فوتونیک و اپتوالکترونیک و دستگاه های RF با فرکانس بالا دارد. با اطمینان از شرایط حرارتی پایدار و به حداقل رساندن آلودگی ، صفحه ماهواره ای رشد لایه ای پایدار را تضمین می کند و منجر به بهبود دست زدن به ویفر و میزان عملکرد بالاتر می شود. طراحی بهینه شده آن پشتیبانی ویفر را به طور مؤثر تضمین می کند ، نقص را کاهش می دهد و از دقت در طول مراحل پردازش نیمه هادی اطمینان می دهد.

صفحه ماهواره ای Semicorex به عنوان یک مؤلفه اساسی برای راکتورهای Aixstron G5+ Epitaxy ، دوام بی نظیر ، مقاومت شیمیایی و عملکرد حرارتی را ارائه می دهد. ترکیب و مهندسی مواد برش آن ، آن را برای فرآیند تولید نیمه هادی بسیار مهم می کند و از تولید ویفرهای با بازده و با کیفیت بالا اطمینان می یابد. در صفحه ماهواره ای سرمایه گذاری کنید تا ساخت نیمه هادی خود را بالا ببرد و در فرآیندهای رشد اپیتاکسیال به برتری برسد.