ماژول اپیتاکسیال sic

ماژول اپیتاکسیال Semicorex Sic ، ساخته شده از درجه پریمیوم ، گرافیت پوشش داده شده SIC ، بخشی از تجهیزات اپی کلیسا است که برای تحمل سخت ترین عناصر فرآیندهای اپیتاکسی سیلیکون (SIC) ساخته شده است. این ماژول ، که برای دمای بالا در کاربردهای رسوب بخار شیمیایی (CVD) در نظر گرفته شده است ، یک مؤلفه مهم در نشان دادن پایداری و پشتیبانی از ویفرها در طول رشد اپیتاکسی SIC با کیفیت بالا است. ماژول SIC Semicorex یک ماده پایه مؤثر برای تولید قابل اعتماد و قابل تکرار از مواد اپیتاکسیال سازگار با مشخصات SIC با کیفیت است.

ماژول SIC Semicorex یک بستر گرافیتی است که با یک لایه متراکم و یکنواخت از آبکاری کاربید سیلیکون پوشیده شده و در برابر آلودگی ذرات و خوردگی حتی در شدیدترین شیمی شیمی مقاوم است. پوشش SIC آلودگی و فرسایش گرافیت زیرین را ممنوع می کند و پشتیبانی و محافظت از مکانیکی قابل توجهی را تا 1600 درجه سانتیگراد فراهم می کند. ماژول SIC استحکام و ماشینکاری گرافیت را با خصوصیات سایش کلی ، خوردگی و مقاومت در برابر شیمیایی کاربید سیلیکون ترکیب می کند و آن را از نظر دوام در یک فضای سخت اپیتاکسیال بهترین ماژول مناسب می کند.

این ماژول به گونه ای طراحی شده است که یک مشخصات حرارتی یکنواخت را در عین حال تغییر بعدی در طول فرآیند دوچرخه سواری حرارتی به حداقل برساند. این یکنواختی و ثبات حرارتی برای حفظ صافی ویفر و یکنواختی اپیتاکس ضروری است. اگر ویفر با هدایت حرارتی بالا از موقعیت پایدار برخوردار باشد ، شرایط حرارتی در سراسر ویفر در حین پردازش یکنواخت خواهد بود ، که بر عملکرد ، کیفیت کریستال و خرابی مربوط به خرابی یا آلودگی تأثیر می گذارد.

ماژول epitaxial SIC با چندین راکتور اپیتاکسیال از جمله دیوار داغ و دیوار سرد سازگار است و این گزینه را دارد که به شکل و ابعاد سفارشی شود تا بتواند طرح های راکتور خاص و نیازهای مشتری را در خود جای دهد. ماژول epitaxial SIC برای برنامه های اپیتاکسی SIC 8 اینچی با 4 اینچی و در حال ظهور به خوبی برای ، اما محدود به آن نیست. به دلیل خلوص بالا و هندسه بهینه شده ماژول اپیتاکسیال SIC ، تداخل فیزیکی در تأثیر آن بر دینامیک جریان گاز و شیب های حرارتی که از رشد کنترل شده بیشتر لایه اپیتاکسیال پشتیبانی می کنند ، به حداقل می رسد.

ماژول های epitaxial SIC Semicorex نشان دهنده بالاترین کیفیت کنترل شده در مونتاژ خارج از مرکز است. علاوه بر پروتکل های کنترل با کیفیت بالا ، Semicorex از جدیدترین روش های پوشش برای استفاده از فیلم های SIC یکنواخت ، متراکم و کم مصرف استفاده می کند. Semicorex دارای سابقه طولانی در پوشش های سرامیکی با کارایی بالا و ماشینکاری گرافیت است که مزایای فرآیند را شناسایی می کند که بهترین زندگی ، قوام و ثبات فرآیند ممکن را از دسته به دسته ای فراهم می کند.

در زمینه سریع در حال تحول دستگاه های قدرت SIC ، که در آن کیفیت مواد به طور مستقیم بر عملکرد دستگاه تأثیر می گذارد ، ماژول اپیتاکسیال فقط یک مصرفی نیست-این یک فعال کننده مهم است. ماژول اپیتاکسیال گرافیت با پوشش SIC از Semicorex یک راه حل قوی و قابل اعتماد برای مشتریانی که به دنبال فشار محدودیت های کارآیی ، عملکرد و مقرون به صرفه بودن در اپیتاکسی SIC هستند ، ارائه می دهد.