ویفر Semicorex SOI یک بستر نیمه هادی با کارایی بالا است که دارای یک لایه سیلیکونی نازک در بالای یک ماده عایق است که کارایی دستگاه، سرعت و مصرف انرژی را بهینه می کند. Semicorex با گزینه های قابل تنظیم، تکنیک های ساخت پیشرفته و تمرکز بر کیفیت، ویفرهای SOI را ارائه می دهد که عملکرد و قابلیت اطمینان برتر را برای طیف گسترده ای از کاربردهای پیشرفته تضمین می کند.*
Semicorex SOI Wafer (سیلیکون روی عایق) یک بستر نیمه هادی پیشرفته است که برای پاسخگویی به نیازهای با کارایی بالا در ساخت مدار مجتمع مدرن (IC) طراحی شده است. ویفرهای SOI که با لایه نازکی از سیلیکون بر روی یک ماده عایق، معمولاً دی اکسید سیلیکون (SiO2) ساخته شده اند، با ایجاد ایزوله بین اجزای مختلف الکتریکی، بهبود عملکرد قابل توجهی را در دستگاه های نیمه هادی امکان پذیر می کنند. این ویفرها به ویژه در تولید دستگاه های قدرت، اجزای RF (فرکانس رادیویی) و MEMS (سیستم های میکرو الکترومکانیکی)، که در آن مدیریت حرارتی، بهره وری توان و کوچک سازی حیاتی هستند، مفید هستند.
ویفرهای SOI ویژگی های الکتریکی برتری از جمله ظرفیت انگلی کم، کاهش مکالمه متقابل بین لایه ها و ایزوله حرارتی بهتر را ارائه می دهند که آنها را برای کاربردهای فرکانس بالا، سرعت بالا و حساس به قدرت در الکترونیک پیشرفته ایده آل می کند. Semicorex انواع ویفرهای SOI را برای نیازهای تولیدی خاص، از جمله ضخامتهای سیلیکونی مختلف، قطر ویفر و لایههای عایق ارائه میکند و به مشتریان اطمینان میدهد که محصولی کاملاً متناسب با کاربردهای خود دریافت میکنند.
ساختار و ویژگی ها
یک ویفر SOI از سه لایه اصلی تشکیل شده است: یک لایه سیلیکون بالایی، یک لایه عایق (معمولا دی اکسید سیلیکون) و یک بستر سیلیکونی حجیم. لایه سیلیکونی بالایی، یا لایه دستگاه، به عنوان منطقه فعالی است که در آن دستگاه های نیمه هادی ساخته می شوند. لایه عایق (SiO2) به عنوان یک مانع عایق الکتریکی عمل می کند و بین لایه سیلیکونی بالایی و سیلیکون توده ای که به عنوان تکیه گاه مکانیکی ویفر عمل می کند، جدایی ایجاد می کند.
ویژگی های کلیدی ویفر SOI Semicorex عبارتند از:
لایه دستگاه: لایه بالایی سیلیکون معمولاً نازک است و ضخامت آن از ده ها نانومتر تا چند میکرومتر بسته به نوع کاربرد دارد. این لایه سیلیکونی نازک امکان سوئیچینگ با سرعت بالا و مصرف انرژی کم در ترانزیستورها و سایر دستگاه های نیمه هادی را فراهم می کند.
لایه عایق (SiO2): لایه عایق معمولاً بین 100 نانومتر و چند میکرومتر ضخامت دارد. این لایه دی اکسید سیلیکون ایزوله الکتریکی بین لایه بالایی فعال و بستر سیلیکونی حجیم را فراهم می کند و به کاهش ظرفیت انگلی و بهبود عملکرد دستگاه کمک می کند.
بستر سیلیکونی حجیم: بستر سیلیکونی حجیم پشتیبانی مکانیکی را فراهم می کند و معمولاً ضخیم تر از لایه دستگاه است. همچنین با تنظیم مقاومت و ضخامت آن می توان آن را برای کاربردهای خاص طراحی کرد.
گزینه های سفارشی سازی: Semicorex گزینه های سفارشی سازی متنوعی از جمله ضخامت های لایه سیلیکونی مختلف، ضخامت لایه عایق، قطر ویفر (معمولاً 100 میلی متر، 150 میلی متر، 200 میلی متر و 300 میلی متر) و جهت گیری ویفر را ارائه می دهد. این به ما امکان می دهد ویفرهای SOI مناسب برای طیف گسترده ای از کاربردها، از تحقیق و توسعه در مقیاس کوچک گرفته تا تولید با حجم بالا، عرضه کنیم.
مواد با کیفیت بالا: ویفرهای SOI ما با سیلیکون با خلوص بالا تولید می شوند و از چگالی نقص کم و کیفیت کریستالی بالا اطمینان می دهند. این منجر به عملکرد و بازده دستگاه برتر در طول ساخت می شود.
تکنیکهای پیوند پیشرفته: Semicorex از تکنیکهای پیوند پیشرفته مانند SIMOX (جداسازی با کاشت اکسیژن) یا فناوری Smart Cut™ برای ساخت ویفرهای SOI ما استفاده میکند. این روش ها کنترل عالی بر روی ضخامت سیلیکون و لایه های عایق را تضمین می کنند و ویفرهای سازگار و با کیفیت بالا را برای سخت ترین کاربردهای نیمه هادی فراهم می کنند.
کاربرد در صنعت نیمه هادی
ویفرهای SOI در بسیاری از کاربردهای نیمه هادی پیشرفته به دلیل خواص الکتریکی بهبود یافته و عملکرد برتر در محیط های با فرکانس بالا، کم مصرف و سرعت بالا بسیار مهم هستند. در زیر برخی از کاربردهای کلیدی ویفرهای SOI Semicorex آورده شده است:
دستگاه های RF و مایکروویو: لایه عایق ویفرهای SOI به به حداقل رساندن ظرفیت انگلی و جلوگیری از تخریب سیگنال کمک می کند و آنها را برای دستگاه های RF (فرکانس رادیویی) و مایکروویو از جمله تقویت کننده های قدرت، نوسان سازها و میکسرها ایده آل می کند. این دستگاه ها از عایق بندی بهبود یافته بهره می برند و در نتیجه عملکرد بالاتر و مصرف برق کمتری دارند.
دستگاه های برق: ترکیب لایه عایق و لایه سیلیکونی نازک در ویفرهای SOI امکان مدیریت حرارتی بهتر را فراهم می کند و آنها را برای دستگاه های برقی که نیاز به اتلاف گرمای کارآمد دارند عالی می کند. کاربردها شامل ماسفت های قدرت (ترانزیستورهای اثر میدانی فلز-اکسید-نیمه هادی) است که از کاهش تلفات برق، سرعت سوئیچینگ سریعتر و عملکرد حرارتی افزایش یافته بهره می برند.
MEMS (سیستم های میکرو الکترومکانیکی): ویفرهای SOI به طور گسترده در دستگاه های MEMS استفاده می شوند، زیرا لایه دستگاه سیلیکونی نازک و مشخصی دارد که می تواند به راحتی برای تشکیل ساختارهای پیچیده میکروماشین شود. دستگاههای MEMS مبتنی بر SOI در حسگرها، محرکها و سایر سیستمهایی که به دقت بالا و قابلیت اطمینان مکانیکی نیاز دارند، یافت میشوند.
منطق پیشرفته و فناوری CMOS: ویفرهای SOI در فناوریهای منطقی پیشرفته CMOS (مکمل فلز-اکسید-نیمه هادی) برای تولید پردازندههای پرسرعت، دستگاههای حافظه و سایر مدارهای مجتمع استفاده میشوند. ظرفیت انگلی کم و کاهش مصرف انرژی ویفرهای SOI به دستیابی به سرعت سوئیچینگ سریعتر و بازده انرژی بیشتر، عوامل کلیدی در الکترونیک نسل بعدی کمک می کند.
اپتوالکترونیک و فوتونیک: سیلیکون کریستالی با کیفیت بالا در ویفرهای SOI آنها را برای کاربردهای الکترونیک نوری، مانند آشکارسازهای نوری و اتصالات نوری مناسب میسازد. این برنامه ها از عایق الکتریکی عالی ارائه شده توسط لایه عایق و توانایی ادغام اجزای فوتونیک و الکترونیکی بر روی یک تراشه بهره می برند.
دستگاه های حافظه: ویفرهای SOI همچنین در برنامه های حافظه غیر فرار، از جمله حافظه فلش و SRAM (حافظه دسترسی تصادفی استاتیک) استفاده می شوند. لایه عایق به حفظ یکپارچگی دستگاه با کاهش خطر تداخل الکتریکی و گفتگوی متقابل کمک می کند.
ویفرهای SOI Semicorex یک راه حل پیشرفته برای طیف گسترده ای از کاربردهای نیمه هادی، از دستگاه های RF گرفته تا الکترونیک قدرت و MEMS ارائه می دهند. این ویفرها با ویژگیهای عملکرد استثنایی، از جمله ظرفیت انگلی کم، کاهش مصرف انرژی و مدیریت حرارتی برتر، کارایی و قابلیت اطمینان دستگاه را افزایش میدهند. ویفرهای SOI Semicorex که برای رفع نیازهای خاص مشتری قابل تنظیم هستند، انتخاب ایده آلی برای تولیدکنندگانی هستند که به دنبال بسترهای با کارایی بالا برای نسل بعدی لوازم الکترونیکی هستند.