قطعات یدکی در رشد اپیتاکسیال

قطعات یدکی Semicorex در رشد Epitaxial کاملاً حیاتی هستند، به ویژه برای فرآیندهایی که شامل نصب لوله کوارتز هستند. این قطعات برای تسهیل جریان گاز برای به حرکت درآوردن چرخش پایه سینی و اطمینان از کنترل دقیق دما در طول فرآیند رشد همپایه ضروری هستند. قطعات یدکی Semicorex در رشد اپیتاکسیال، که در محاوره به عنوان نیمی از قطعات شناخته می شوند، به دقت مهندسی شده اند تا در برابر دماهای بالا و محیط های خورنده ذاتی در اتاقک های رشد همپایی مقاومت کنند. ساخته شده از کاربید سیلیکون (SiC)، پایداری حرارتی و شیمیایی فوق العاده ای را ارائه می دهد و آنها را به گزینه ای ایده آل برای چنین کاربردهایی تبدیل می کند. استفاده از SiC تضمین می کند که این قطعات قادر به تحمل حتی چالش برانگیزترین شرایط هستند.

قطعات یدکی در رشد همپایه شبیه به شکل هلال ماه است که به گونه ای طراحی شده است که به خوبی در مجموعه لوله کوارتز قرار گیرد. پیکربندی منحصر به فرد نیمه ماه آنها به آنها اجازه می دهد تا به راحتی از سیستم وارد شوند و از سیستم خارج شوند و مراحل تعمیر و نگهداری و جایگزینی را با کارایی و دقت تسهیل می کند.

قطعات یدکی در Epitaxial Growth اهداف متعددی را انجام می دهند. اولا، آنها به انتقال کنترل شده گازهای ضروری برای فرآیند رشد همپایی کمک می کنند. با تنظیم نرخ جریان و توزیع گاز، آنها از رسوب یکنواخت مواد نیمه هادی بر روی سطح بستر اطمینان حاصل می کنند که برای دستیابی به خواص مواد مورد نظر و عملکرد دستگاه بسیار مهم است.

قطعات یدکی در رشد همپایه به حرکت چرخشی پایه سینی در داخل محفظه رشد کمک می کند. این چرخش برای ترویج توزیع یکنواخت مواد رسوب‌شده، جلوگیری از ایجاد بی‌نظمی یا نقص در لایه‌های همپایی بسیار مهم است.