Susceptor با گرید

Semicorex Susceptor with Grid یک جزء تخصصی است که در فرآیند رشد اپیتاکسیال ویفرهای نیمه هادی استفاده می شود. این قطعه حیاتی از تجهیزات برای حمل و پشتیبانی ویفرها در طول رسوب مواد در یک سیستم رسوب بخار شیمیایی فلزی-آلی (MOCVD) طراحی شده است. Susceptor with Grid نقشی محوری در تضمین رشد یکنواخت و کنترل شده لایه های همپایی روی ویفر نیمه هادی ایفا می کند.

Susceptor with Grid با مواد بهینه سازی شده برای عملکرد آن ساخته شده است. در این مورد، از گرافیت پوشش داده شده MOCVD SiC (کاربید سیلیکون رسوب شیمیایی شیمیایی فلز-آلی) ساخته شده است. این انتخاب مواد چندین مزیت از جمله مقاومت در برابر دمای بالا، پایداری شیمیایی و هدایت حرارتی عالی را به همراه دارد. پوشش SiC روی گرافیت دوام و مقاومت گیره را در برابر شرایط سختی که در طول فرآیند رشد اپیتاکسیال با آن مواجه می‌شود، افزایش می‌دهد.

Susceptor با ساختار Grid به عنوان مکانیزم پشتیبانی برای ویفرهای نیمه هادی عمل می کند. این به طور استراتژیک طراحی شده است تا ویفرها را به طور ایمن در جای خود نگه دارد و در عین حال امکان جریان موثر گازها و رسوب یکنواخت مواد را فراهم کند. الگوی شبکه به توزیع یکنواخت گرما و واکنش دهنده ها در سطح ویفر کمک می کند و به کنترل دقیق ضخامت و ترکیب لایه همپایی کمک می کند.

Semicorex Susceptor with Grid یک جزء حیاتی در فرآیند ساخت دستگاه های نیمه هادی پیشرفته است. ساختار مستحکم و طراحی تخصصی آن، آن را به ابزاری ضروری برای دستیابی به رشد اپیتاکسیال با کیفیت بالا تبدیل می کند و از تولید نیمه هادی ها با عملکرد و قابلیت اطمینان برتر اطمینان حاصل می کند.