بخاری های الن

بخاری های نیمه هادی برای نیمه هادی دستگاهی است که برای گرم کردن مواد نیمه هادی استفاده می شود. عمدتا از آن ساخته شده استسرامیک نیترید آلومینیوممواد ، دارای هدایت حرارتی عالی و مقاومت در برابر دمای بالا هستند و می توانند در دماهای بالا پایدار عمل کنند. بخاری معمولاً از سیم مقاومت به عنوان یک عنصر گرمایش استفاده می کند. با استفاده از سیم مقاومت برای گرم شدن ، گرما به سطح بخاری منتقل می شود تا گرمایش مواد نیمه هادی را بدست آورد. بخاری های ALN برای نیمه هادی نقش مهمی در فرآیند تولید نیمه هادی ایفا می کند و می تواند در فرآیندی مانند رشد کریستال ، بازپرداخت و پخت استفاده شود.

در فرآیند جلویی (FEOL) از تولید نیمه هادی ، باید درمان های مختلف فرآیند بر روی ویفر انجام شود ، به خصوص گرم کردن ویفر به دمای معینی ، و نیازهای دقیق وجود دارد ، زیرا یکنواختی دما تأثیر بسیار مهمی در عملکرد محصول دارد. در عین حال ، تجهیزات نیمه هادی نیز باید در محیطی کار کنند که در آن خلاء ، پلاسما و گازهای شیمیایی وجود داشته باشد که نیاز به استفاده از بخاری های سرامیکی (بخاری سرامیکی) دارد. بخاری های سرامیکی اجزای مهم تجهیزات رسوب فیلم نازک نیمه هادی هستند. آنها در محفظه فرآیند مورد استفاده قرار می گیرند و مستقیماً با ویفر تماس می گیرند و ویفر را قادر می سازد تا دمای فرآیند پایدار و یکنواخت را بدست آورد و واکنش نشان دهد و فیلم های نازک را بر روی سطح ویفر با دقت بالا تولید کند.

تجهیزات رسوب فیلم نازک برای بخاری های سرامیکی به طور کلی از مواد سرامیکی مبتنی بر استفاده می کندنیترید آلومینیوم (ALN)به دلیل درجه حرارت بالا درگیر. نیترید آلومینیوم دارای عایق الکتریکی و هدایت حرارتی عالی است. علاوه بر این ، ضریب انبساط حرارتی آن نزدیک به سیلیکون است و از مقاومت پلاسما بسیار خوبی برخوردار است و آن را برای استفاده به عنوان یک مؤلفه دستگاه نیمه هادی بسیار مناسب می کند.

بخاری های آلن شامل یک پایگاه سرامیکی است که دارای ویفر است ، و یک بدن پشتیبانی استوانه ای که از پشت آن پشتیبانی می کند. در داخل یا روی سطح پایه سرامیک ، علاوه بر یک عنصر مقاومت (لایه گرمایش) برای گرم کردن ، یک الکترود RF (لایه RF) نیز وجود دارد. برای دستیابی به گرمایش و خنک کننده سریع ، ضخامت پایه سرامیک باید نازک باشد ، اما خیلی نازک نیز باعث کاهش استحکام می شود. بدنه پشتیبانی از بخاری های ALN به طور کلی از ماده ای با ضریب انبساط حرارتی شبیه به پایه ساخته شده است ، بنابراین بدن پشتیبانی اغلب از نیترید آلومینیوم نیز ساخته می شود. بخاری های ALN یک ساختار منحصر به فرد از کف مشترک شافت (شافت) را برای محافظت از پایانه ها و سیم ها در برابر اثرات گازهای شیمیایی پلاسما و خورنده اتخاذ می کنند. یک لوله ورودی و لوله خروجی انتقال حرارت در بدنه پشتیبانی ارائه می شود تا از دمای یکنواخت بخاری اطمینان حاصل شود. پایه و بدنه پشتیبانی با یک لایه پیوند شیمیایی پیوند می خورند.

یک عنصر گرمایش مقاومت در پایه بخاری دفن شده است. این برنامه با چاپ صفحه با خمیر رسانا (تنگستن ، مولیبدن یا تانتالوم) تشکیل می شود تا یک الگوی مدار دایره مارپیچ یا متمرکز تشکیل شود. البته می توان از سیم فلزی ، مش فلزی ، فویل فلزی و غیره نیز استفاده کرد. هنگام استفاده از روش چاپ صفحه ، دو صفحه سرامیکی به همان شکل تهیه می شود و خمیر رسانا روی سطح یکی از آنها اعمال می شود. سپس ، ایجاد یک عنصر گرمایش مقاومت ، و صفحه سرامیکی دیگر با عنصر گرمایش مقاومت همپوشانی می شود تا یک عنصر مقاومت در پایه دفن شود.

عوامل اصلی مؤثر بر هدایت حرارتی سرامیک های نیترید آلومینیوم چگالی شبکه ، اکسیژن ، خلوص پودر ، ریزساختار و غیره است که بر هدایت حرارتی سرامیک های نیترید آلومینیوم تأثیر می گذارد.