بازوی سرامیکی آلومینا

بازوی سرامیکی Alumina Semicorex یک مؤلفه مهندسی شده است که به بالاترین مشخصات برای برنامه های نیمه هادی تبدیل شده است. ساخته شده از آلومینای با خلوص بالا (Al₂o₃) ، یک بازوی روباتیک است که ترکیبی منحصر به فرد از استحکام مکانیکی ، پایداری حرارتی و مقاومت شیمیایی را نشان می دهد. این بازو نه تنها برای استفاده به تنهایی برای استفاده از ویفر طراحی شده است بلکه باید پشتیبانی از فرآیند را در سایت های پیشرفته ساختگی نیز فراهم کند. همچنین باید اطمینان حاصل شود که ویفرها بدون آلودگی یا خسارت منتقل می شوند ، قرار می گیرند و پردازش می شوند. بهبود بازده و قابلیت اطمینان روند.

الومینیکی از سرامیک های فنی است که بیشترین استفاده را در زمینه سرامیک فنی پیدا می کند. آلومینا به دلیل سختی ، مقاومت در برابر سایش و ثبات در محیط های تهاجمی شناخته شده است. برای اهداف بازوی سرامیکی برای مدیریت دست زدن به ویفر بدون ایجاد آلودگی ، می تواند از خواص آلومینا بهره برداری کند و به عنوان یک نتیجه از خلوص بالا و اندازه ذرات ، سطح مقاومت بسیار بالاتری را در برابر سایش ارائه دهد. بنابراین ، این ذرات بیش از حد را در طول حرکات مکرر خود ، چه با ویفر و چه با بسترهای نیمه هادی از هر نوع دیگر تولید نمی کند.  چگالی و تخلخل کم که میزبان آن نیز بیشتر پتانسیل ذرات شکستن را محدود می کند ، و تضمین می کند که نیازهای بسیار تمیز فاب های توسعه نیمه هادی را بدون اینکه از پاکیزگی مورد نیاز برای کنترل دستگاه زیر میکرون استفاده کند ، برآورده کند.

الومینعلاوه بر قدرت مکانیکی آن ، ثبات حرارتی استثنایی نیز دارد. بازوی سرامیکی آلومینا می تواند دمای شدید فرآیند را بدون پیچ و تاب ، ترک خوردن یا از دست دادن قدرت تحمل کند. این خاصیت آن را برای ترکیب در هر مرحله فرآیند که شامل قرار گرفتن در معرض دمای بالا ، مانند انتشار ، اکسیداسیون یا مراحل آنیل است ، ایده آل می کند. ویفرها قابلیت اطمینان را برای انتقال در یک محیط فرآیند چالش برانگیز بهبود می بخشند زیرا یکپارچگی مکانیکی را تحت دوچرخه سواری حرارتی حفظ می کند.

مقاومت شیمیایی یکی دیگر از مثبت های اساسی بازوی سرامیکی آلومینا است. در تولید نیمه هادی ، درمان ها اغلب بر روی ویفرها انجام می شود که شامل اسیدهای قوی ، قلیایی و سایر مواد شیمیایی تهاجمی است. در حالی که اجزای فلزی ممکن است ناخالصی ها را خراب یا شستشو دهند ، آلومینا از نظر شیمیایی بی اثر است ، که از یکپارچگی بازو و ویفرهایی که در آن استفاده می کند محافظت می کند. بنابراین عدم تحرک طول عمر این مؤلفه را افزایش می دهد در حالی که احتمال آلودگی در طی مراحل فرآیند بحرانی مانند تمیز کردن مرطوب یا رسوب بخار شیمیایی را کاهش می دهد.

بازوی سرامیکی آلومینا با تمرکز بر سازگاری و دقت طراحی شده است. هر بازو برای تحمل های بعدی محکم ساخته می شود ، و از تراز دقیق ویفر و حرکت و سازگاری با تجهیزات حمل و نقل خودکار ویفر و سیستم های روباتیک اطمینان می یابد. سطح صاف و صیقلی دارای رابط اصطکاک کم با ویفر است که احتمال خراشیدن ویفر را کاهش می دهد ، که برای یکپارچگی ویفر/پاکیزگی محیطی و کاهش سرعت نقص ضروری است. این تحمل های مهندسی شده اطمینان حاصل می کنند که بازو آزادانه در یک محیط با توان بالا با سرعت بالا عمل می کند و هم گردش کار نیمه هادی انسانی و کاملاً خودکار را برای بازو امکان پذیر می کند.

بازوی سرامیکی آلومینا فراتر از عملکرد شیمیایی و مکانیکی است و بر راندمان عملیاتی و صرفه جویی در هزینه در چندین سطح تأثیر می گذارد. ماهیت با دوام سرامیک به بازو اجازه می دهد تا از نظر طول عمر طراحی تحت بارگذاری مکانیکی تکراری ، از مواد کامپوزیتی مانند پلاستیک یا آلومینیوم بهتر عمل کند و بنابراین میزان خرابی عملیاتی و/یا هزینه های جایگزینی را کاهش می دهد. توانایی مقاومت در برابر محیط های سخت شامل پاکیزگی محیطی است ، ضمن اینکه باعث ایجاد وقفه های تولید کمتری می شود و منجر به بهبود تولید ویفر مداوم ، یعنی عملکرد و در نهایت ضایعات کمتر می شود که منجر به ROI بالاتر (بازده سرمایه گذاری) برای تولید کنندگان نیمه هادی می شود.

گزینه های استفاده ازسرامیکبازو برای فرآیندهای نیمه هادی تقریباً بی پایان است - از ویفرهای متحرک بین نیمکت های مرطوب ، کوره های انتشار و اتاق های رسوب گرفته تا بازرسی و ابزارهای اندازه گیری با استفاده از بسترها. تطبیق پذیری این محصول نه تنها اجازه می دهد تا از آن برای برنامه های کاربردی ویفر استفاده شود ، بلکه شرایط اتوماسیون بیشتر که صحت ، پاکیزگی و قابلیت اطمینان نیز لازم است نیز امکان پذیر است. صنعت نیمه هادی به طور غیرقابل توصیف به سمت گره های کوچکتر و افزایش پیچیدگی در ساخت دستگاه حرکت می کند ، و از آنجا که این صنعت همچنان خواستار راه حل های بهتر قابل اعتماد و غیر متمایز است ، بازوهای رباتیک سرامیکی مسیری روشن را به جلو ایجاد می کند.