بازوی

بازوی Semicorex SIC یک وسیله تخصصی است که برای رسیدگی به ویفرها با حداکثر قابلیت اطمینان و دقت تهیه شده است. بازوهای انتقال ویفر ، مانند بازوی SIC در تجهیزات پیشرفته تولید نیمه هادی مانند راکتورهای اپیتاکسیال ، سیستم های کاشت یون ، پردازش حرارتی و غیره ظاهر می شوند. بازوهای انتقال ویفر برای اطمینان از انتقال ایمن و دقیق ویفرهای موجود در محیط های پیچیده ویفر ، یکپارچه هستند. ساخته شده با استفاده از خلوص بالاکاربید سیلیکونهمراه با خصوصیات مواد اولیه 

ثبات حرارتی و شیمیایی استثنایی و کنترل عالی ماشینکاری ، بازوی SIC را به یک راه حل قابل اعتماد برای تولید نیمه هادی آینده تبدیل می کند.

SIC ARM عملکرد استثنایی خود را در محیط های حرارتی شدید دارد. در رشد اپیتاکسیال و همچنین سایر فرآیندهای درجه حرارت بالا ، اجزای انتقال ویفر می توانند در معرض گرمای پایدار قرار گیرند که به راحتی ویژگی های یک ماده معمولی را خراب می کند. کاربید سیلیکون هم در دمای بالا قدرت و هم دقت ابعاد (تحمل ابعاد محدود) را حفظ می کند ، که تضمین می کند که ویفرها می توانند دقیقاً در حین انتقال یا پردازش نشسته باشند و عملاً سوء استفاده از ویفر ، واریت یا آلودگی را از بین ببرند. سرامیک با عملکرد استثنایی یک محصول SIC ؛ مانند بازوی SIC اکسیده نمی شود ، مانند فلز تحریف می شود ، و ویژگی های عملکرد شکست مانند سرامیک را که ترکیبی از استرس است ، ندارند.

مقاومت شیمیایی یکی دیگر از ویژگی های تعریف کننده بازوی SIC است. در محیط های نیمه هادی ، گازهای خورنده ، مواد شیمیایی واکنشی و قرار گرفتن در معرض پلاسما متداول است. بازوی دست زدن که در چنین شرایطی خراب می شود نه تنها باعث نارسایی مکانیکی می شود بلکه آلودگی ویفرها را نیز به خطر می اندازد.کاربید سیلیکونیک سطح بی اثر شیمیایی را فراهم می کند که در برابر این شرایط تهاجمی مقاومت می کند. نتیجه یک مؤلفه بسیار قابل اعتماد است که یکپارچگی سطح و پاکیزگی را حفظ می کند و از ویفرها از ناخالصی هایی که می تواند عملکرد دستگاه را به خطر بیاندازد ، محافظت می کند. این دوام به طور قابل توجهی کاهش تجهیزات را کاهش می دهد ، فرکانس جایگزینی را کاهش می دهد و قوام فرآیند را افزایش می دهد.

فراتر از مقاومت مادی ، بازوی SIC نیز از دقت ماشینکاری برخوردار است. دست زدن به ویفر نیاز به دقت در میکرومتر دارد. تحمل هایی که حتی کمی از مشخصات خارج هستند می تواند باعث تغییر در هندسه یا سطح سطح شود که می تواند خطرات بیشتری را در شکستگی ویفر یا سوء استفاده از ویفر ایجاد کند. با استفاده از فن آوری های تولید مدرن ، بازوهای SIC با تحمل مناسب ، صافی و سطوح صاف تولید می شوند. برنامه های کاربردی با دقت بالا برای اطمینان از موقعیت یابی مداوم ویفرها و عملکرد قابل تکرار در هزاران چرخه کنترل ، ایده آل است ، که برای تولید نیمه هادی با حجم بالا که مشخصات خواستار آن است ، ایده آل است.

تطبیق پذیری یکی دیگر از مزایای سلاح های SIC است. ابزارها و فرآیندهای نیمه هادی مختلف به اسلحه های هندسه ، اندازه و طرح های مختلف نیاز دارند. از آنجا که می توان بازوهای SIC را برای ترکیب این ویژگی های طراحی خاص اصلاح کرد ، می توانند به راحتی در طیف گسترده ای از سیستم ها قرار گیرند ، خواه یک ابزار اپیتاکس ، یک قطعه از تجهیزات کاشت یون یا یک راکتور پردازش حرارتی باشد. اتمام سطح ، طرح های ساختاری و اتمام نیز می توانند اصلاح و مهندسی شوند تا بهترین عملکرد را با توجه به برنامه خاص ارائه دهند.

سلاح های SIC همچنین دارای کارآیی عملیاتی هستند. میانگین دوام و قابلیت اطمینان SIC به ندرت نادر است و خرابی به حداقل می رسد. هر دو به معنی هزینه های نگهداری طولانی مدت هستند. برای تولید فاب های نیمه هادی این به معنای تحقق توان بهتر ، پتانسیل ثبات بیشتر در تولید و بازده دستگاه بالاتر است.

سلاح های SIC از زمان معرفی آنها در جامعه نیمه هادی به طور خاص در سیستم های انتقال ویفر ، که در آن مجبور به مقاومت در برابر فشارهای مکانیکی و شرایط پردازش بسیار دقیق هستند ، استفاده گسترده ای را مشاهده کرده اند. این که ویفرها را به سمت راکتورهای اپیتاکس منتقل کنند ، آنها را در حین کاشت یون در جای خود قرار دهند ، یا آنها را از طریق محیط های گاز یا پردازش حرارتی منتقل کنند ، بازوی SIC کنترل ویفر ایمن ، دقیق و بدون آلودگی را فراهم می کند. قابلیت اطمینان از طریق ورود اسلحه SIC به نمونه کارها تجهیزات نیمه هادی مدرن آشکار است.

بازوی Semicorex Sic ترکیبی موفق از خواص مطلوب پیشرفته استماده کاربید سیلیکون، مهندسی دقیق و پایداری درجه حرارت بالا. ترکیبی از پایداری شیمیایی ، توانایی ماشینکاری و ساخت دقیق ، بازوی SIC را برای ارائه قابل اطمینان ویفر در سخت ترین فرآیندهای نیمه هادی مناسب می کند. بازوی SIC برای مزایای مصرفی کاربر نهایی برای کمک به ویفر کمک می کند و در عملکرد عملیاتی بلند مدت با توجه به کارآیی ، عملکرد و ثبات فرآیند ، از مزایای مصرفی کاربر نهایی قابل تنظیم و بادوام است. تولید کننده هایی که به دنبال سیستم های حمل و نقل ویفر مدرن و برش هستند یا حتی از راه حل های حمل و نقل ویفر جعبه به نظر می رسند و به بازوی SIC به عنوان یک سیستم انتقال و انتقال ویفر اثبات شده ، با عملکرد بالا و توانمند برای خواسته های پیشرفته صنعت نیمه هادی متکی هستند.