انگشتان دست

انگشتان SIC Semicorex بخش های تخصصی هستند که کاربردهای اصلی آنها در تجهیزات پردازش نیمه هادی است ، به ویژه در سیستم های پشتیبانی و پشتیبانی ویفر. عملکرد اصلی آنها پشتیبانی یا نگه داشتن ویفرها در طی فرآیندهای مانند اپیتاکسی ، کاشت یون یا تصفیه حرارتی است که در آن ثبات ابعادی یا پاکیزگی به همراه قابلیت اطمینان بسیار مهم است. کاربید سیلیکون استحکام مکانیکی را با مقاومت حرارتی عالی و شیمیایی عالی ترکیب می کند و این خصوصیات در خطوط ساخت نیمه هادی پیشرفته ضروری است ، بنابراین انگشتان SIC در چنین کاربردهایی ضروری هستند.

ویژگی فروشکاربید سیلیکونبه عنوان یک ماده توانایی مقاومت در برابر دمای عملیاتی بسیار بالا بدون از دست دادن یکپارچگی مکانیکی آن است. در فرآیندهای نیمه هادی مانند رشد اپیتاکسیال ، ویفرها به طور ناگهانی و در طی دوره های طولانی دمای بالا را تجربه می کنند. انگشتان SIC که یک بار درگیر آن بودند ، تراز و قدرت خود را در طول چرخه های درجه حرارت بالا حفظ می کند ، بنابراین ویفرها در جای خود باقی می مانند ، و حرکت را به حداقل می رساند تا از تغییر شکل یا سوء استفاده برای حفظ یکنواختی فرایند کافی برای دستیابی به عملکرد قابل قبول جلوگیری کند. انگشتان SIC خدمات بسیار طولانی تری نسبت به تکیه گاه های سرامیکی یا فلزی معمولی ارائه می دهند در حالی که در بارهای درجه حرارت بالا بسیار سازگارتر هستند.

یکی از مزایای اصلی انگشتان SIC مقاومت شیمیایی برتر آنها است. تمام برنامه های نیمه هادی شامل گازهای واکنشی ، قرار گرفتن در معرض پلاسما و قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی خورنده هستند. ماده فاسد یا پوسیده شده با آزاد کردن ذرات یا آلاینده هایی که می توانند کیفیت ویفر را کاهش دهند ، پاسخ می دهد.کاربید سیلیکوندارای یک سطح بی اثر شیمیایی است که به مواد شیمیایی تهاجمی وصل نمی شود یا واکنش نشان نمی دهد ، یک محیط فرآیند تمیز تولید می کند و خطر آلودگی را به میزان قابل توجهی کاهش می دهد. این به دوام ابزار انتقال ویفر می افزاید ، مستقیماً به نتایج فرآیند پایدار و تکرار شونده کمک می کند که در تولید دستگاه های نیمه هادی با عملکرد بالا بسیار مهم است.

Precision یکی دیگر از ملاحظات مهم در طراحی انگشت SIC است. مدیریت ویفر مستلزم اجزای دارای تحمل بسیار محکم است ، میکرومتر می تواند باعث سوء استفاده از ویفر شود ، پتانسیل شکستن ویفر را افزایش دهد یا باعث ناسازگاری در فرآیندها شود. با استفاده از جدیدترین فناوری های ماشینکاری و پولیش ، انگشتان SIC را می توان با بالاترین تحمل ابعاد و صافی سطح و صاف و صاف تولید کرد. این یک بستر بدون پایدار و نسبتاً بی تحرکی برای پشتیبانی ویفر با کاهش پتانسیل برای تشکیل ذرات و عملکرد مکرر برنامه های کاربردی ویفر در تجهیزات پردازش نیمه هادی اتوماتیک را تضمین می کند.

علاوه بر مزایای ماده پایه انگشتان SIC ، می توان آنها را نیز متناسب با هر تجهیزات یا نیاز فرآیند تهیه کرد. اندازه های مختلف ویفر ، طرح های مختلف راکتور و کنترل اپراتور مختلف به راه حل های خاص تولیدی نیاز دارند. انگشتان SIC را می توان در هر هندسه یا بعد انجام داد و درمان سطح می تواند به عنوان مناسب برای کاربردهای خاص اعمال شود.

انگشتان SIC همچنین به دلیل عمر قابل استفاده طولانی (کاهش فرکانس جایگزینی) و کاهش زمان کاهش آنها به دلیل خرابی یا آلودگی رسوب از استرس حرارتی یا شیمیایی ، هزینه های عملیاتی را نیز کاهش می دهد. با دوام و قابلیت اطمینان برای تولید کنندگان نیمه هادی ، استفاده از انگشتان SIC منجر به افزایش به روز ، کاهش هزینه مصرف و بازده کلی فرایند بهبود می یابد.

به طور عملی ، انگشتان SIC بیشتر در راکتورهای رشد اپیتاکس استفاده می شوند ، زیرا آنها در طی فرآیندهای حرارتی شدید و شیمیایی ، ویفر پایدار را فراهم می کنند. آنها همچنین در ایمپلنت های یونی یا آنیل های درجه حرارت بالا که پایداری مکانیکی و همچنین عدم تحرک شیمیایی بسیار مهم است استفاده می شود. در بین برنامه ها ، عملکرد مداوم نیز باعث می شود که استفاده از آنها در ویفر در ارائه یکنواختی فرآیند ، یکپارچگی ویفر و کیفیت بسیار مهم باشد.

انگشتان Semicorex ، نمونه های محکمی از مزایای آن هستندماده کاربید سیلیکون برای دمای بالا ، مقاوم در برابر شیمیایی ، اجزای نیمه هادی با دقت مهندسی شده. محیط مواد انگشتان SIC پایداری درجه حرارت بالا ، مقاومت شیمیایی استثنایی و امکان تولید به استانداردهای با دقت بالا را فراهم می کند. یک مؤلفه قوی و قابل تنظیم برای دستیابی به تولید پایدار و بهبود عملکرد و راندمان هزینه برای تولید کنندگان نیمه هادی بسیار مهم است. انگشتان SIC همچنان یک راه حل پیشرفته و قابل اعتماد برای فاب های متمرکز بر ثبات فرآیند و تضمین کیفیت هستند.