بخاری نیترید آلومینیوم

بخاری های نیترید آلومینیوم نیمورکس عناصر گرمایش سرامیکی پیشرفته برای برنامه هایی هستند که نیاز به هدایت حرارتی بالا ، عایق الکتریکی و دوام استثنایی دارند. این بخاری ها که از سرامیک نیترید آلومینیوم ساخته شده است ، گرمایش سریع و یکنواخت را فراهم می کند و آنها را برای محیط های با دقت بالا مانند پردازش نیمه هادی ، تشخیص پزشکی و ابزار دقیق تحلیلی ایده آل می کند.

بخاری های نیترید آلومینیوم اجزای اصلی تجهیزات رسوب فیلم نازک نیمه هادی هستند. آنها مستقیماً در محفظه فرآیند و در تماس مستقیم با ویفر اعمال می شوند. آنها نه تنها ویفر را حمل می کنند ، بلکه اطمینان حاصل می کنند که ویفر a را بدست می آورد 

دمای فرآیند پایدار و یکنواخت. این ویژگی برای واکنشهای با دقت بالا در سطح ویفر و تولید فیلم های نازک یکنواخت ضروری است.

به طور معمول ، بخاری های نیترید آلومینیوم شامل یک بستر سرامیکی با سطح بارگذاری ویفر و یک بدنه پشتیبانی استوانه ای است که از پشت آن پشتیبانی می کند. علاوه بر یک مدار گرمایش مقاومت برای گرمایش ، یک الکترود RF و یک الکترود چاک الکترواستاتیک و سایر هادی ها نیز در داخل یا روی سطح بستر سرامیک تهیه می شوند.

تجهیزات رسوب فیلم نازک معمولاً از مواد سرامیکی مبتنی بر استفاده می کنندنیترید آلومینیوم (ALN)زیرا شامل یک محیط با درجه حرارت بالا است. دلیل اینکه بخاری نیترید آلومینیوم در تولید نیمه هادی مورد علاقه قرار می گیرند ، عمدتاً به دلیل خاصیت فیزیکی و شیمیایی منحصر به فرد آنها است. نیترید آلومینیوم نه تنها از هدایت حرارتی بالایی برخوردار است و می تواند در مدت زمان کوتاهی به گرمایش و سرمایش سریع برسد ، بلکه دارای عایق الکتریکی و قدرت مکانیکی خوبی نیز هست و از ثبات و قابلیت اطمینان بخاری اطمینان می دهد. علاوه بر این ، ضریب انبساط حرارتی نیترید آلومینیوم شبیه به سیلیکون است که به کاهش تأثیر تنش حرارتی بر روی ویفر و بهبود عملکرد روند کمک می کند.

به طور کلی ،بخاری های سرامیکیعمدتا در تجهیزات رسوب فیلم نازک استفاده می شود. از آنجا که شامل فرآیندهای درجه حرارت بالا است ، مواد سرامیکی مورد استفاده عمدتا نیترید آلومینیوم است. چاک های الکترواستاتیک عمدتاً در تجهیزات اچینگ مورد استفاده قرار می گیرند و مواد سرامیکی مورد استفاده عمدتا اکسید آلومینیوم است. با توسعه فناوری نیمه هادی ، بین بخاری های سرامیکی و چاک های الکترواستاتیک همپوشانی وجود دارد. به عنوان مثال ، بخاری های سرامیکی مورد استفاده در تجهیزات رسوب فیلم نازک مجهز به چاک های الکترواستاتیک هستند که عملکردهای دوگانه گرمایش درجه حرارت بالا و جذب الکترواستاتیک دارند. چاک های الکترواستاتیک مورد استفاده در تجهیزات اچینگ نیز شامل فرآیندهای درجه حرارت بالا می شوند و مواد سرامیکی باید از اکسید آلومینیوم به نیترید آلومینیوم تغییر یابد.