مخزن تمیز کردن

مخزن تمیز کننده Semicorex از کوارتز با کیفیت بالا ساخته شده است، عملکرد و قابلیت اطمینان بی نظیری را ارائه می دهد و تضمین می کند که ویفرهای نیمه هادی به طور کامل تمیز می شوند و از هر گونه آلاینده ای که می تواند یکپارچگی آنها را به خطر بیندازد، عاری است.

کوارتز به دلیل مقاومت شیمیایی استثنایی و پایداری حرارتی برای ساخت مخزن تمیز کننده انتخاب شده است. مخزن تمیز کننده کوارتز در برابر مواد شیمیایی خشن که معمولاً در فرآیندهای تمیز کردن استفاده می شود مانند اسید هیدروفلوئوریک و سایر اچ های قوی مقاومت می کند. پایداری حرارتی آن تضمین می‌کند که می‌تواند دماهای بالایی را که اغلب در پردازش نیمه‌رسانا مورد نیاز است، بدون تغییر شکل یا تخریب، تحمل کند و یکپارچگی ساختاری و عملکرد خود را در دوره‌های طولانی حفظ کند.

طراحی مخزن تمیز کردن با دقت مهندسی شده است تا فرآیند تمیز کردن را بهینه کند. فضای داخلی صاف و بدون درز آن تولید ذرات را به حداقل می رساند و از تجمع آلاینده ها جلوگیری می کند. مخزن تمیز کردن برای استفاده از روش های مختلف تمیز کردن، از جمله حمام های شیمیایی، تمیز کردن اولتراسونیک و تمیز کردن مگاسونیک طراحی شده است. هر روش مزایای خاص خود را دارد و تطبیق پذیری مخزن تمیز کردن به آن اجازه می دهد تا در مراحل مختلف فرآیند تمیز کردن، از تمیز کردن اولیه ویفر تا شستشو و خشک کردن نهایی، استفاده شود.

در حمام‌های شیمیایی، مخزن تمیزکننده تضمین می‌کند که ویفرها به طور یکنواخت در معرض محلول‌های تمیزکننده قرار می‌گیرند و باعث تمیز کردن مداوم و کامل می‌شوند. قرار گرفتن در معرض یکنواخت در از بین بردن ذرات معلق، باقی مانده های آلی و آلاینده های فلزی از سطح ویفر بسیار مهم است. در تمیز کردن اولتراسونیک و مگاسونیک، امواج صوتی با فرکانس بالا حباب‌های حفره‌ای میکروسکوپی را در محلول تمیزکننده ایجاد می‌کنند. هنگامی که این حباب ها فرو می ریزند، امواج ضربه ای قدرتمندی تولید می کنند که آلاینده ها را از سطح ویفر خارج کرده و حذف می کند. ساختار قوی کوارتز مخزن تمیز کننده می تواند در برابر شرایط شدید ایجاد شده توسط این روش های تمیز کردن مقاومت کند و دوام و اثربخشی طولانی مدت را تضمین کند.