مخزن ذخیره مایع کوارتز

مخزن ذخیره مایع کوارتز Semicorex یک ظرف ساخته شده برای کاربردهای تمیز نیمه هادی است که در آن کنترل مایع به سطح فوق العاده ای از پاکیزگی و پایداری مواد نیاز دارد. در درجه اول ، این مخزن برای جمع آوری زباله یا مایعات باقیمانده از برنامه های تمیز کننده ویفر استفاده می شود. برای بهره وری فرآیند و کنترل آلودگی بسیار ارزشمند است. در طی یک فرآیند تمیز مرطوب ، شستشوی ویفر نیمه هادی شامل حجم زیادی از آب فوق العاده یا معرفهای شیمیایی است که در انتهای شستشو به مایع زباله تبدیل می شوند. علاوه بر این ، مایع باقیمانده پس از شستشو باید جمع آوری شود زیرا دارای ناخالصی های اثری بالقوه یا اجزای شیمیایی با ارزش است که نباید از آن پایین بیایند. مایع زباله نیز باید هنگام انجام مراحل پوشش مانند برنامه های کاربردی عکسبرداری ، که در آن باید باقیمانده های اضافی یا مواد شیمیایی زباله جمع آوری شود ، جمع آوری شود. بنابراین ، مخزن ذخیره سازی مایع کوارتز دارای تحویل مناسب برای تأمین خلوص بالا ، سازگاری شیمیایی و خاصیت آلودگی کم است.

این مخزن از کوارتز ذوب شده با خلوص بالا ساخته شده است که در برابر اسیدهای قوی ، قلیایی و حلالهایی که به طور مرتب در تمیز کردن نیمه هادی و لیتوگرافی مورد استفاده قرار می گیرند بسیار مقاوم است. این که آیا یک ظرف معمولی ، کوارتز به قطعات مایع بهترین فرصت برای عدم قرار گرفتن در معرض آلاینده ثانویه ، شستشوی یا قرار گرفتن در معرض یون ناخواسته را می دهد. یکی از جنبه های اصلی مخزن ذخیره سازی مایع کوارتز ، امکان پشتیبانی از گردش کار تحلیلی در فاب های نیمه هادی است ، زیرا مایعات باقیمانده جمع آوری شده در یک رگ کوارتز می توانند در فرآیندهای پایین دست مانند تشخیص ناخالصی ، تجزیه و تحلیل آلودگی و بازیافت شیمیایی استفاده شوند. ذاتی برای خواص کوارتز ، می تواند با اطمینان از مایعات باقیمانده برخوردار باشد و با توجه به عدم تحرک و شفافیت آن ، ارزیابی بینایی را بدون خطر تعامل انجام دهد ، علاوه بر ثبات حرارتی آن ، که باعث می شود هر مایع در مخزن به هر حال وصل شود و بدون خطر تخریب یا تأثیرگذاری بر روی سیال ، به هرگونه دمای فرآیند تسریع شود. گفته می شود ، مخزن ذخیره سازی مایع کوارتز هم برای جمع آوری زباله و هم برای ذخیره سازی کوتاه مدت قبل از انتقال یا درمان طراحی شده است.

همه جزئیات کنترل آلودگی فرآیند اهمیت دارد ، به خصوص که گره های تولید کننده دستگاه پیشرفته کوچکتر می شوند و پارامترهای پاکیزگی دقیق تر می شوند. مخزن ذخیره سازی مایع کوارتز تضمین می کند که اپراتورهای FAB اطمینان دارند که مدیریت پسماند به منبع آلودگی ثانویه تبدیل نمی شود. با داشتن محلول های تمیز کردن باقیمانده یا مایعات فرآیند اضافی ، مانع از تأثیر معتبر از جریان های بالادست و پایین دست می شود. علاوه بر این ، مخزن از اهداف پایداری FAB پشتیبانی می کند ، زیرا مایعات جمع آوری شده می توانند برای تصفیه و استفاده مجدد از معرف پردازش شوند ، بنابراین با استفاده از یک فرآیند فشرده شیمیایی کمتر و در نتیجه بار محیطی کمتری ایجاد می شود.

از دیدگاه عملی ، طراحی مخزن ذخیره مایع کوارتز اجازه می دهد تا به راحتی در سخت افزار تمیز کردن مرطوب و سیستم های مدیریت شیمیایی وارد شود. فاکتور فرم می تواند متناسب با تنظیمات ابزار موجود باشد. روشهای ساخت دقیق از ابعاد دور اطمینان حاصل می کنند و سطح داخلی صاف به راحتی همه مایعات را در محیط نیمه هادی شما حمل و ذخیره می کند. یک ساختار کوارتز غیر متخلخل از جذب آلاینده ها جلوگیری می کند و به تمیز کردن مخزن اجازه می دهد و بر خلاف ظروف پلاستیکی معمولی که در محیط های کنترل شده شیمیایی در عملیات حجم قابل توجهی کار می کنند ، امکان استفاده مجدد را فراهم می کند.

نکته آخر ، مخزن ذخیره سازی مایع کوارتز به ویژه در همه برنامه های تمیز کردن و پوشش مرطوب نیمه هادی طراحی شده است. با ایجاد بهترین خلوص مواد ، مقاومت شیمیایی و ذخیره مایع بدون آلودگی در یک مرکز عملیاتی نیمه هادی ، FABS قادر به کنترل فرایند خود به طور اندک و بدون هیچ گونه بیش از حد آلودگی هستند. این که آیا یک FAB از مخزن برای دریافت جمع آوری زباله مستقیم ، برای بازیابی یک معرف و غیره استفاده می کند ، یا برای تجزیه و تحلیل ناخالصی ، تاریخچه مراحل مهم در این فرآیند بدون به خطر انداختن عملکرد در حالت اصلی باقی می ماند. هنگامی که به دنبال به حداکثر رساندن بازده هستید ، خطر را برای روند کار خود برای از بین رفتن ثبات به حداقل برسانید و به حداکثر رساندن کارآیی مدیریت شیمیایی محصولات جانبی ، کوارتز بدون آلودگی تنها انتخابی است که با تمام تمیز کردن مرطوب شما عملکرد قابل اعتماد را ارائه می دهد.