مخزن کوارتز Semicorex برای پردازش مرطوب، همچنین به عنوان حمام کوارتز شناخته می شود، به ویژه در فرآیندهای مرطوب مورد استفاده برای ساخت ویفر بسیار مهم است.**
مخزن کوارتز برای پردازش مرطوب، ساخته شده از کوارتز درجه نیمه هادی، دوام و عدم واکنش استثنایی را در برابر مواد شیمیایی مختلف از جمله اسید سولفوریک (H2SO4)، پراکسید هیدروژن (H2O2) و محلول های تمیز استاندارد (SC1) ارائه می دهد.
یکی از کاربردهای اولیه مخزن کوارتز برای پردازش مرطوب در ساخت ویفر، تمیز کردن ویفر است. در طی مراحل مختلف ساخت، ویفرها ممکن است برای حکاکی قسمتهای خاص یا محدود کردن انتشار در مناطق تعیینشده ماسک شوند. هنگامی که یک مرحله فرآیند خاص کامل شد، مواد پوشاننده باید به طور کامل تمیز شود تا ویفر برای مرحله بعدی آماده شود. مخزن کوارتز برای پردازش مرطوب نقش مهمی در این فرآیند تمیز کردن ایفا می کند و تضمین می کند که ویفرها به طور مؤثر تمیز می شوند بدون اینکه باقیمانده یا ذره ای که می تواند مراحل بعدی پردازش را آلوده کند.
توانایی Quartz the Tank for Wet Processing برای مقاومت در برابر مواد شیمیایی تهاجمی در کاربردهای پردازش مرطوب بسیار مهم است. این مخازن به گونه ای طراحی شده اند که در برابر مواد شیمیایی خشن مورد استفاده در فرآیندهای حکاکی و تمیز کردن بدون واکنش با آنها مقاومت کنند. این عدم واکنشپذیری تضمین میکند که مواد شیمیایی مؤثر باقی میمانند و هیچ واکنش شیمیایی ناخواستهای رخ نمیدهد که بتواند یکپارچگی ویفرها را به خطر بیندازد.
در فرآیندهای تمیز کردن ویفر، به حداقل رساندن آلودگی ویفرها با ذرات ضروری است. مخزن کوارتز Semicorex برای پردازش مرطوب مهندسی شده است تا خطر آلودگی را کاهش دهد و اطمینان حاصل کند که ویفرها به طور کامل و کارآمد تمیز می شوند. مخازن کوارتز ما را می توان در مدل های گرم شده و چرخشی مجدد عرضه کرد که امکان کنترل دقیق دما و گردش مداوم محلول های تمیز کننده را فراهم می کند.
یکی دیگر از ویژگی های مهم مخزن کوارتز Semicorex برای پردازش مرطوب، مقاومت حرارتی بالا است. این مخازن می توانند تا دمای 190 درجه سانتیگراد کار کنند، که برای فرآیندهایی که شامل گرم کردن محلول های تمیز کردن یا اچ کردن هستند مناسب است. مقاومت حرارتی بالا تضمین می کند که مخازن یکپارچگی ساختاری و عملکرد خود را حتی در دماهای بالا حفظ می کنند. این امر به ویژه در فرآیندهایی که کنترل دما برای دستیابی به نتایج مطلوب بسیار مهم است، اهمیت دارد.
مخزن کوارتز برای پردازش مرطوب همچنین دارای انبساط حرارتی کم و مقاومت بالایی در برابر شوک های حرارتی است. انبساط حرارتی کم خطر ترک خوردگی یا تغییر شکل ناشی از نوسانات دما را به حداقل می رساند و طول عمر و قابلیت اطمینان مخازن را تضمین می کند. مقاومت بالا در برابر شوک های حرارتی به مخازن کوارتز اجازه می دهد تا تغییرات سریع دما را بدون به خطر انداختن یکپارچگی ساختاری خود تحمل کنند. این خواص حرارتی برای حفظ دقت و قابلیت اطمینان مراحل پردازش مرطوب در ساخت ویفر ضروری است.
شفافیت بالا یکی دیگر از مزایای مخزن کوارتز Semicorex برای پردازش مرطوب است. شفافیت مواد کوارتز امکان بازرسی بصری ویفرها و محلولهای تمیزکننده یا حکاکی را در طول پردازش فراهم میکند. این دید، کنترل و نظارت فرآیند را افزایش میدهد و اطمینان میدهد که هر گونه مشکلی میتواند به سرعت شناسایی و رسیدگی شود. توانایی نظارت بصری فرآیند به ویژه برای اطمینان از کیفیت و سازگاری مراحل تمیز کردن و اچ کردن ویفر مهم است.
در Semicorex، ما از فناوری ماشینکاری پیشرفته برای تولید مخزن کوارتز با کیفیت بالا برای پردازش مرطوب استفاده می کنیم. قابلیت های تولید ما شامل تیغه الماس و برش لیزری به اندازه، تضمین ابعاد دقیق و پرداخت با کیفیت بالا است. ما همچنین از سطوح بسیار صیقلی برای به حداقل رساندن خطر تولید ذرات و آلودگی استفاده می کنیم. جوشکاران و ماشین آلات با تجربه کوارتز ما مخازن کوارتز با خلوص بالا را با ورودی های جوش داده شده با استحکام بالا و نگهدارنده های پروب ایجاد می کنند که برای پاسخگویی به نیازهای خاص مشتریان ما سفارشی شده است.
برای افزایش کارایی و دوام مخزن کوارتز برای پردازش مرطوب، آنها را برای کاهش استرس حرارتی آنیل می کنیم. بازپخت یک فرآیند عملیات حرارتی است که تنش های داخلی مواد کوارتز را کاهش می دهد، مقاومت آن را در برابر شوک حرارتی بهبود می بخشد و دوام کلی آن را افزایش می دهد.
اندازه ها و پیکربندی های سفارشی برای برآوردن نیازهای متنوع فرآیندهای تولید نیمه هادی ضروری است. در Semicorex، ما طیف وسیعی از اندازهها و پیکربندیهای سفارشی را برای مخازن کوارتز خود ارائه میدهیم که به ما امکان میدهد راهحلهایی متناسب با نیازهای خاص مشتریان خود ارائه دهیم. چه با افزودن ورودی های کوارتز جوش داده شده با استحکام بالا، نگهدارنده کاوشگر، یا سایر ویژگی های سفارشی، ما از نزدیک با مشتریان خود برای ارائه مخازن کوارتز که مشخصات دقیق آنها را برآورده می کنند، همکاری می کنیم.