حلقه فوکوس CVD SiC برای 2L10-506419-21

در طی فرآیند اچ پلاسما، توزیع غیریکنواخت پلاسما در محفظه واکنش می‌تواند منجر به نقص شدید در لبه ویفر شود که باعث کاهش بازده دستگاه نیمه‌رسانا می‌شود. Semicorex سی وی دی سی سیحلقه فوکوسبرای 2L10-506419-21 جزء ایده آل برای رسیدگی به این نقطه درد است. معمولاً روی چاک الکترواستاتیک نصب می شود و در اطراف لبه ویفر قرار می گیرد. حلقه فوکوس Semicorex CVD SiC برای 2L10-506419-21 قادر است پلاسما را بر روی سطح ویفر متمرکز کند و توزیع میدان الکتریکی را در محفظه واکنش بهینه کند. به این ترتیب می تواند به طور موثری از پدیده اچ شدن بیش از حد لبه ویفر جلوگیری کند و از این طریق نتایج دقیق و یکنواخت اچ را تضمین کند.

عملکرد حلقه فوکوس Semicorex CVD SiC برای 2L10-506419-21

1. می تواند یکنواختی اچ را بهبود بخشد و نرخ اچ ثابت را بین مرکز ویفر و لبه حفظ کند، بنابراین عملکرد تراشه های نیمه هادی نهایی را افزایش می دهد.

2. می تواند به ایجاد یک شرایط اچینگ پایدار برای به حداقل رساندن انحراف فرآیند و آلودگی ذرات ناشی از توزیع ناهموار پلاسما کمک کند.

3. می تواند از لبه ویفر محافظت کند تا از اچ بیش از حد و آسیب لبه ناشی از پلاسما جلوگیری کند.

خواص مواد عالی

نیمه کورکسسی وی دی سی سیحلقه فوکوس برای 2L10-506419-21 دقیقاً از مواد جامد CVD SiC ساخته شده است. فرآیند CVD می تواند عملکرد ساختاری و عملکردی کاربید سیلیکون را به طور قابل توجهی افزایش دهد، و باعث می شود حلقه فوکوس CVD SiC Semicorex برای 2L10-506419-21 دارای ویژگی های عالی زیر برای انجام محیط های عملیاتی حکاکی پیچیده باشد.

1. خلوص فوق العاده بالا و محتوای ناخالصی آن کمتر از 5 پی پی ام است.

2. استحکام مکانیکی بالا به دلیل ساختار داخلی متراکم آنها.

3. قابلیت مدیریت حرارتی عالی، هیچ ذوب یا نرم شدن در مواد در دمای حدود 2000 درجه سانتیگراد رخ نمی دهد.

4. مقاومت در برابر خوردگی استثنایی، می تواند در برابر اچ پلاسما و فرسایش توسط گازهای فرآیند از جمله HF، HCl و NH3 مقاومت کند.

کنترل کیفیت با دقت بالا

Semicorex همیشه دقت و کیفیت اجزا را به عنوان اولویت اصلی خود قرار می دهد و حلقه های فوکوس CVD SiC را کاملاً مطابق با استانداردهای دقیق حرفه ای صنعت نیمه هادی تولید می کند که بنابراین اطمینان حاصل می شود که حلقه فوکوس Semicorex CVD SiC برای 2L10-506419-21 یک مونتاژ مناسب و بدون درز GUS را با TRK4 ارائه می دهد.