حلقه های لبه

حلقه های لبه نیمه نیمه بخش مهمی از فرآیند کامل تولید نیمه هادی ، به ویژه برای کاربردهای پردازش ویفر از جمله اچ زدن پلاسما و رسوب بخار شیمیایی (CVD) است. حلقه های لبه برای احاطه محیط بیرونی یک ویفر نیمه هادی به منظور توزیع انرژی به طور یکنواخت ضمن بهبود پایداری فرآیند ، عملکرد ویفر و قابلیت اطمینان دستگاه طراحی شده اند. حلقه های لبه ما از رسوب بخار شیمیایی با خلوص بالا کاربید سیلیکون (CVD SIC) ساخته شده و برای محیط های فرآیند خواستار ساخته شده اند.

موضوعاتی در طی فرآیندهای مبتنی بر پلاسما بوجود می آیند که در آن انرژی غیر یکنواختی و تحریف پلاسما در لبه ویفر خطر ایجاد نقص ، رانش فرآیند یا از دست دادن عملکرد را ایجاد می کند. حلقه های لبه با تمرکز و شکل دادن به میدان انرژی در اطراف محیط بیرونی ویفر ، این خطر را به حداقل می رسانند. حلقه های لبه درست در خارج از لبه بیرونی ویفر قرار می گیرند و به عنوان موانع فرآیند و راهنماهای انرژی عمل می کنند که اثرات لبه را به حداقل می رساند ، از لبه ویفر محافظت می کند و یکنواختی اضافی ضروری را در سطح ویفر ارائه می دهد.

مزایای مادی CVD sic:

حلقه های لبه ما از CVD SIC با خلوص بالا ساخته شده است ، که منحصر به فرد طراحی و برای محیط های فرآیند سخت طراحی شده است. CVD SIC با هدایت حرارتی استثنایی ، استحکام مکانیکی بالا و مقاومت شیمیایی عالی مشخص می شود - همه ویژگی هایی که CVD را به عنوان مواد انتخابی برای برنامه های نیمه هادی که نیاز به دوام ، ثبات و مشکلات آلودگی کم دارند ، می سازد.

خلوص بالا: CVD SIC دارای ناخالصی های تقریباً صفر است به این معنی که ذرات کمی تولید نمی شود و آلودگی فلزی وجود ندارد که در نیمه هادی های پیشرفته گره حیاتی باشد.

ثبات حرارتی: این ماده ثبات بعدی را در دمای بالا حفظ می کند ، که برای قرار دادن مناسب ویفر در موقعیت پلاسما بسیار مهم است.

عدم تحرک شیمیایی: به گازهای خورنده مانند آنهایی که حاوی فلوئور یا کلر هستند که معمولاً در یک محیط اچ پلاسما و همچنین فرآیندهای CVD استفاده می شوند ، بی اثر است.

استحکام مکانیکی: CVD SIC می تواند در برابر ترک خوردگی و فرسایش در دوره های زمانی طولانی در برابر حداکثر عمر و به حداقل رساندن هزینه های نگهداری مقاومت کند.

هر حلقه لبه برای قرار دادن ابعاد هندسی محفظه فرآیند و اندازه ویفر ساخته شده است. به طور معمول 200 میلی متر یا 300 میلی متر. تحمل طراحی بسیار محکم گرفته می شود تا اطمینان حاصل شود که می توان از حلقه لبه در ماژول فرآیند موجود و بدون نیاز به اصلاح استفاده کرد. هندسه های سفارشی و اتمام سطح برای تحقق الزامات منحصر به فرد OEM یا تنظیمات ابزار در دسترس هستند.